Gebraucht TRIKON / ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200 #293655332 zu verkaufen

TRIKON/ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200 ist eine Mehrzweck-Sputterausrüstung zur präzisen Dünnschichtabscheidung. Das System ist mit einem leicht einstellbaren, drehbaren Doppelzielschild ausgestattet, um eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Dünnschichthomogenität zu gewährleisten. Das MS4200 verfügt zudem über eine hocheffiziente, variable Stromversorgung zur genauen Steuerung der an die Sputterziele gelieferten Leistung. Die variable Stromversorgung ermöglicht die Einstellung von Zielfluss und Mantelspannung. Es hat auch eine planare monokristalline Zielkonstruktion für erhöhte Sputterraten. Das MS4200 verfügt außerdem über einen Uniform Substrate Heater mit einem Temperaturbereich von 150 oC bis 450 oC zur nachhaltigen Konditionierung und Filmentwässerung. Dieses Merkmal gewährleistet eine gleichmäßige Abscheidung über eine breite Palette von Substratgrößen und -dicken. Die Heizung bietet auch hohe Temperatur Gleichmäßigkeit und Stabilität über einen großen Waferdurchmesserbereich. Das MS4200 verfügt auch über eine voll ausgestattete Gasmanagementeinheit mit einem einstellbaren Gasfluss, Druck und Umfang. Es verfügt außerdem über einen HF-Generator und eine optionale Prozesssteuerung für zusätzliche Flexibilität. Der Generator ermöglicht die Einstellung der HF-Impulsbreite, um eine optimale Gleichmäßigkeit und Haftung der Folie zu gewährleisten. Schließlich wird die MS4200 mit einer Vakuummaschine versorgt, um die Prozessgleichmäßigkeit und die hermetische Abdichtung der Kammer aufrechtzuerhalten. Insgesamt ist TRIKON PLASMAFAB MS4200 ideal für die Abscheidung dünner Filme mit überlegener Dichte, Homogenität und Gleichmäßigkeit. Die multifunktionalen Funktionen des Werkzeugs bieten Anwendern die Flexibilität und Leistung, die sie benötigen, um ihre Dünnschichtabscheidungsziele zu erreichen.