Gebraucht ULVAC (5) Chambers for sputtering system #293636262 zu verkaufen

ULVAC (5) Chambers for sputtering system
ID: 293636262
Wafergröße: 12"
12".
ULVAC (Ultra Low Vacuum) Kammern für Sputteranlagen ist ein leistungsfähiges Mehrkammersystem, das in einer Vielzahl von industriellen Anwendungen verwendet wird. Die Anlage wird häufig unter anderem bei der Herstellung von Sputterfolien, Beschichtungsmaterialien und elektrochemischem Ätzen eingesetzt. ULVAC Maschine besteht aus drei Hauptkammern. Zunächst dient die Hauptkammer als Lager- und Transportkammer. Diese Kammer kann auf sehr niedrige Drücke von 10-7 hPa evakuiert werden, was eine kontrollierte Umgebung ermöglicht, in der Prozessmaterialien gelagert und transportiert werden. Dieser Niederdruckzustand ermöglicht auch effektive Sputterprozesse und die Erzeugung von Beschichtungen auf Substraten. Zweitens die Magnetronkammer, die eine geschlossene Kammer ist, die im Magnetronsputterabscheidungsprozess verwendet wird. Die geschlossene Kammer ermöglicht die vollständige Eindämmung des Magnetrons. Diese Kammer wird im Vakuum von 10-5 hPa betrieben und kann mit einer Vielzahl von Magneten für spezielle Prozessanforderungen ausgestattet werden. Die dritte Kammer, die Reaktionskammer, wird für das CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition) verwendet. Diese Kammer nutzt ein Vakuum von 10-4 hPa und ist im allgemeinen mit einem Mehrdüsenabscheidungswerkzeug ausgestattet, um eine gleichmäßige Schichtdicke über das Substrat zu gewährleisten. ULVAC Kammern enthalten auch eine Reihe von technologischen Eigenschaften. Insbesondere ist die Magnetronkammer mit einer Ionenquelle und einem Gasauslaß ausgestattet, was eine verbesserte Steuerung des Abscheideprozesses ermöglicht. Darüber hinaus umfasst das Asset ein erweitertes Überwachungsmodell und Datenerfassungsfunktionen, die es den Betreibern ermöglichen, den Prozess zu überwachen und einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die Ausrüstung als modulares System konzipiert, das eine breite Palette von Prozesskonfigurationen für spezifische Anforderungen ermöglicht. Dadurch können Prozesse wie Hochvakuumverdampfung, Co-Verdampfung und Laserscribing durchgeführt werden. Insgesamt ist ULVAC Chambers for sputtering unit eine ideale Wahl für Industrie- und Laboranwendungen in verschiedenen Branchen. Trotz ihrer Komplexität ist die Maschine einfach zu bedienen, zuverlässig und für eine effiziente Produktion ausgelegt. Durch die Verwendung fortschrittlicher Technologien und der neuesten Designfunktionen kann ULVAC Chambers einen sicheren, zuverlässigen und effizienten Prozess für fortschrittliche industrielle und wissenschaftliche Anwendungen bieten.
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