Gebraucht ULVAC Ceraus Z-1000 #9053697 zu verkaufen

ULVAC Ceraus Z-1000 ist eine Sputteranlage für Dünnschichtabscheidungsprozesse. Typischerweise in Forschungs- und Produktionsumgebungen verwendet das System Magnetron-Sputtertechnologie, um dünne Filme aus Metall oder anderen Materialien auf Substraten abzuscheiden. Diese Technologie ist ideal für die Schaffung dünner Schichten aus Aluminium, Molybdän, Tantal, Titan, Chrom, Kobalt, Platin, Iridium und Wolfram, mit Schichtdicken von 10nm bis 1000nm. Ceraus Z-1000 Einheit ist mit einer Sputterkammer ausgestattet, die einen großzügigen Arbeitsraum und eine glockenglasdichtbare Maschine bietet, die eine hohe Verschmutzungssteuerung bietet. Es verwendet ein offenes Kammerdesign für eine einfache Substratbeladung und ein Kühlwasserwerkzeug, das für Prozesstemperaturstabilität sorgt. Es ist auch mit einer streng entwickelten internen Gaskontrolle ausgestattet, um den Druck zuverlässig zu überwachen und zu regulieren. Das Modell verwendet zwei in der Sputterkammer installierte Kathoden mit jeweils einer Anzahl von Magnetronspulen. Die Kathoden sind mit Hochfrequenz- und Gleichstromquellen verbunden, die eine unabhängige Steuerung von positiven und negativen Ionen in der Kammer ermöglichen. Dies ermöglicht die selektive Abscheidung verschiedener Sputtermaterialien und die Kombination von Materialien zu 2-Schicht bis 5-Schicht-Folien. Die Ausrüstung kann auch Tandem- und Mehrschichtstrukturen erzeugen. Vakuumseitig arbeitet das System im Bereich von 1x10-4 bis 1x10-6Pa mit einer Hauptpumpeinheit, einer Turbomolekularpumpe, einer Halteplattenleitung und einer Vorpumpenoption. Auf der Außenseite bietet die fortschrittliche Automatisierungsschnittstelle eine einfache Steuerung, Überwachung und Bedienung aus der Ferne. Die Maschine bietet auch Daten- und Softwaresteuerungen für Prozessparameter wie bevorzugte Beschichtungsdicke, Verweilzeit, Pumpendrehzahl, Pumpenzeit und Schwimmspannung. ULVAC Ceraus Z-1000 ist ein Mittelvakuum-Sputterwerkzeug mit integrierter Kammerkonstruktion. Es zeichnet sich durch hohe Abscheideraten, präzise Prozesskontrolle und hochwertige Dünnschichtabscheidung aus. Es ist ideal für die Forschung und Produktion von hochpräzisen dünnen Folien mit strengen Anforderungen an Filmzusammensetzung, Filmleistung und Substratgrößen.