Gebraucht ULVAC Ceraus Z-1000 #9083925 zu verkaufen

ULVAC Ceraus Z-1000 ist eine fortschrittliche Sputterausrüstung für die Dünnschichtabscheidung. Es ist ein kompaktes Hochleistungssystem mit einem neuen Sputterquellen-Design, das hohe Sputterraten, eine verbesserte Abscheidungsgleichförmigkeit und einen höheren Durchsatz ermöglicht. Die Sputterquelle verwendet eine fortschrittliche Gleichstrom (DC) Magnetron-Sputtertechnologie, die hohe Abscheidungsraten mit guter Gleichmäßigkeit und Filmprofilen liefert. Darüber hinaus wurde das Gerät mit anspruchsvollen Temperatur- und Druckregelungen konzipiert, die eine hervorragende Prozesskontrolle und Reproduzierbarkeit bieten. Ceraus Z-1000 verfügt über eine leistungsstarke computerorientierte Steuerungsmaschine mit automatischer Steuerung von Sputterparametern wie Spannung, Druck, Gasströmungen und Substrattemperatur. Dies gewährleistet eine optimale Abscheidung unterschiedlichster Dünnschichtmaterialien. Das Werkzeug umfasst einen T/E Saphir FE Hochtemperaturreaktor (HTR) mit 5 Zonen Heizfähigkeit, eine High Power Density DC Electron Cyclotron Resonance (ECR) -Quelle mit 12 kW Leistung und eine voll integrierte Normal- und Hochvakuumpumpumpanlage. ULVAC Ceraus Z-1000 Asset ist ideal für viele Dünnschichtanwendungen. Es kann zur Abscheidung von Metall-, Halbleiter-, Dielektrikum- und Organisch/Photoresist-Filmen verwendet werden. Es unterstützt bis zu vier Proben, die gleichzeitig in einer quadratischen oder runden Konfiguration geladen werden können. Mit einer schnellen Sputterrate von bis zu 107 Angström/s kann das Modell schnell und effizient hochwertige Dünnschichten produzieren. Darüber hinaus verfügt Ceraus Z-1000 über erweiterte Diagnosefähigkeiten, einschließlich in situ Röntgenanalyse und optische und elektronenmikroskopische Techniken. Zur Ausstattung gehört auch eine integrierte AutoTuneTM Software, die eine vereinfachte Optimierung des Sputterprozesses ermöglicht. Das System ermöglicht eine einfache und intuitive Steuerung aller Prozessparameter und gewährleistet die Reproduzierbarkeit und Wiederholbarkeit des Abscheideprozesses. ULVAC Ceraus Z-1000 ist ein ideales Werkzeug für Dünnschichtabscheideverfahren. Es verfügt über ein kompaktes Design und eine leistungsstarke computerorientierte Steuereinheit, die eine hervorragende Prozesssteuerung und Reproduzierbarkeit bietet. Mit seiner hohen Sputterrate, der ECR-Quelle (High-Power Electron Cyclotron Resonance) und den In-situ-Diagnosefunktionen bietet Ceraus Z-1000 eine große Flexibilität, um den Anforderungen jedes Dünnschichtabscheidungsprojekts gerecht zu werden.