Gebraucht ULVAC Ceraus Z-1000 #9198269 zu verkaufen

ULVAC Ceraus Z-1000 ist eine hochmoderne Sputteranlage. Das Sputtersystem besteht aus einer Kammer, einer Sputterquelle, einer Vakuumeinheit, einer Gaszuführmaschine und einer Behandlungssteuerung. Das Werkzeug ist dazu ausgelegt, einen dünnen Film aus gewünschtem Material auf einem Substrat abzulegen. Die Sputterkammer ist eine zylindrische Kammer mit einer zentralen Flanschplatte. Die Kammer besteht aus Edelstahl und ist druckfest bis 10 Torr. Es verfügt über ein 12-Zoll-Durchmesser-Sichtfenster und zwei 4-Zoll-Anschlüsse für Flanschverbindungen. Die Kammer ist mit einer automatisierten Türanlage ausgestattet, die einen einfachen Zugang und ein schnelles Be- und Entladen der Substrate ermöglicht. Die Sputterquelle ist eine Sputterpistole vom Diodentyp mit einem ED-Kanonenanschluss und einem Mo-Kanonenanschluss. Es erzeugt ein hochdichtes Plasma aus Argongas, das zum Sputtern der Oberfläche eines Substrats verwendet wird. Die Sputterpistole ist mit einer Stromversorgung verbunden, die eine variable Leistungsregelung ermöglicht. Der Sputtervorgang wird auch über die Behandlungssteuerung gesteuert. Das Vakuum-Modell besteht aus einer Rotationspumpe, einer Turbomolekularpumpe und einer kombinierten Prallschutzpumpe. Die Pumpen sind für eine saubere, trockene Vakuumumgebung in der Kammer ausgelegt. Die kombinierte Prall- und Fangvorrichtung dient zur Entfernung von Schadstoffen und Schmutz, die während des Zerstäubungsprozesses entstehen können. Die Gaszufuhreinrichtung ist so konzipiert, dass Argon-Gas während des Sputtervorgangs in die Kammer eingeführt wird. Es ist sowohl mit der Sputterpistole als auch mit dem Vakuumsystem verbunden. Die Gasfördereinheit ist mit ausgeklügelten Drucksensoren ausgestattet, die zur Überwachung des Drucks in der Kammer dienen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Druck für den Sputtervorgang optimal bleibt. Die Behandlungssteuerung dient zur Überwachung und Steuerung aller am Sputterprozess beteiligten Prozesse. Es ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen wie Temperatur- und Druckreglern ausgestattet. Es hat auch die Fähigkeit, verschiedene Informationen über den Prozess anzuzeigen, wie den Druck und die Temperatur innerhalb der Kammer. Ceraus Z-1000 ist eine fortschrittliche Sputtermaschine, die zum Abscheiden von dünnen Schichten auf Substraten verwendet wird. Es ist ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug, das eine präzise Steuerung der Prozessparameter ermöglicht und für eine Vielzahl von Sputteranwendungen geeignet ist.