Gebraucht ULVAC Ceraus Z-1000 #9400323 zu verkaufen

ULVAC Ceraus Z-1000 ist eine Sputteranlage, die Folien aus Metallen und Isolatoren auf einer Reihe von Substraten in genau gesteuerten Dicken abscheiden soll. Das System besteht aus einer Ionenquelle, einer Kammer und einer Reihe kohlenwasserstofffreier Pumpöffnungen. Die Ionenquelle wird von einem HF-Generator angetrieben und liefert eine hohe Dichte an Ionen für gleichmäßiges Sputtern. Die Kammer besteht aus Aluminium oder Edelstahl und ist temperaturgeregelt bis innerhalb von ± 2 ° C. Es gibt eine Reihe von wassergekühlten Targets, die auf einem Zieltreiber montiert sind, und die Targets werden mit einer Form von ConAg-Lösung vorbeschichtet, um Ausgasungen zu verhindern und Kontaminationen zu minimieren. Die Z-1000 verwendet ein unipolares Magnetron-Sputterverfahren mit einem starken Magnetfeld aus einem Permanentmagneten, das eine gleichmäßige Abscheidung von dünnen Schichten über den gesamten Wafer gewährleistet. Die Komponenten innerhalb der Kammer werden voneinander isoliert, um sicherzustellen, dass keine Störungen zwischen der Ionenquelle und dem Abscheidevorgang auftreten. Die einstellbare Ausgestaltung des Gaseinlasses, externer Gasquellen und des Gasmassenspektrometers ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessparameter wie Druck und Gasstrom. Das Z-1000 verfügt außerdem über eine In-situ-Überwachungseinheit, die eine Echtzeitanalyse des Abscheidungsprozesses ermöglicht. Diese Maschine erfasst das Profil der Folie, die Abscheiderate und andere Daten. Es erfolgt eine Nachabscheidungsanalyse der Filmeigenschaften gegen die erwarteten Ergebnisse, ohne den Prozess stoppen zu müssen. Ceraus Z-1000 ist ein hochpräzises Sputterwerkzeug, das fortschrittliche Plasmatechnologien verwendet, um einheitliche Dünnschichtabscheidungen zu erzielen. Es bietet eine genaue Kontrolle der Prozessparameter und bietet In-situ-Überwachung zur präzisen Kontrolle des Abscheidungsprozesses. Die Anlage eignet sich für eine Reihe von Metallen und Isolatoren auf einer Vielzahl von Substraten. Das Z-1000 ist ein effizientes Werkzeug für Forschung und Geräteanwendungen.