Gebraucht ULVAC Ceraus Zi-1000N #9053702 zu verkaufen
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ULVAC Ceraus Zi-1000N ist eine Einkammer-Sputteranlage, die für Sputteranwendungen mit hohem Durchsatz entwickelt wurde. Dieses Sputtersystem ist für gleichmäßige Folien, Dicken, höhere Raten und verbesserte Ausbeuten optimiert. Sein revolutionäres fortschrittliches Design bietet überlegene Produktivität und niedrigere Betriebskosten. Ceraus Zi-1000N verwendet ULVAC einzigartige periphere Sputterkammer Einheit, um hohen Durchsatz Sputtern zu erreichen. Diese Kammermaschine verwendet große DC und gepulste DC (PDC) Magnetrons auf jeder Seite der Prozesskammer, und ionisierende Elektronen können auf die Kathode injiziert werden, um die Zerstäubungsrate zu verbessern. Die peripheren Zerstäubungskammern erzeugen eine große Zerstäubungsfläche, so dass das Werkzeug sehr gleichmäßige Zerstäubungsprozesse durchführen kann. ULVAC Ceraus Zi-1000N bietet auch optionale IBAD-Funktionen (Ion-Beam Assisted Deposition), die optimierte Filmeigenschaften ermöglichen. Die IBAD-Kammer wird in die bestehende Produktionskammer nachgerüstet, und leistungsstarke Ionenstrahlquellen können genutzt werden, um Partikelarten wie Argon und Xenon auf die zerstäubten Folien für eine verbesserte Mikrostruktur und Filmhärte zu strahlen. Ceraus Zi-1000N ist wartungsfreundlich und verfügt über eine abgedichtete und flexible Umgebung, die das Eindringen von Staub in die Produktionskammer verhindert. Die Anlage hat auch eine automatische Drucksteuerung, so dass es einfach zu bedienen und zu warten. Das Modell der programmierbaren Logiksteuerung (SPS) und die Roboter zur Handhabung von Wafern minimieren zudem Ausfallzeiten, so dass die Geräte mit minimaler Unterbrechung betrieben werden können. Insgesamt ist ULVAC Ceraus Zi-1000N ein leistungsfähiges und vielseitiges Sputtersystem, das für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. Sein hoher Durchsatz, einheitliche Folien, verbesserte Ausbeute, erweiterte SPS-Einheit und IBAD-Fähigkeiten machen es zu einer idealen Wahl für diejenigen, die eine zuverlässige Sputtermaschine suchen.
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