Gebraucht ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274937 zu verkaufen
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ID: 9274937
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2011
Sputtering system, 8"
Turbo pump: TMP 202LM
Reflow
Degas
Ti / TiN LTS
Ti
AI
Cryo pump: CRYO-T8PN
(4) RS5 Refrigerators
2011 vintage.
ULVAC Ceraus ZX-1000 ist eine Sputteranlage, die von ULVAC, einem fortschrittlichen Technologiehersteller von Dünnschicht- und Sputtersystemen, entwickelt wurde. Es ist für die unabhängige Steuerung von Sputterleistung, Pulsfrequenz, Winkelgeschwindigkeit, Zielfläche/Druck und Luftströmung konzipiert und ermöglicht eine hochpräzise Filmbildung und verbesserte Produktivität. Mit ULVAC CERAUS ZX 1000 können Anwender gleichzeitig Folien aus bis zu vier Materialien auf einem einzigen Substrat bilden. Dies geschieht durch die patentierte Dual-Target-Technologie, die ein rotierendes Ziel verwendet. Diese Technologie ermöglicht eine höhere Abscheidung durch Erhöhung der Sputterpartikel im Einfallswinkel. Die Dual-Target-Technologie ermöglicht auch die effiziente Injektion von Partikeln auf jedes Sputtermaterial, wodurch es mit einer Vielzahl von Substraten und Materialien kompatibel ist. Ceraus ZX-1000 verwendet ein flaches kreisförmiges Sputtersystem, das die Effizienz erhöht, indem mehrere Ziele installiert werden können. Diese Einheit ermöglicht eine Optimierung der Filmbildungsbedingungen und für schnelle Prozessänderungen. Es ist auch kompatibel mit mehreren Arten von Einlässen einschließlich Ar, O2, N2 und seltene Gase, sowie mehrere Quellen einschließlich Gleichstrom (DC), Niederfrequenz (LF) und Hochfrequenz (HF) Entladung. CERAUS ZX 1000 besteht aus einer Vakuumkammer, die durch ein Absperrventil abgedichtet ist und einen Luftstromtyp einer Kühlmaschine enthält, der verhindert, dass Wärme in die Kammer austritt. Im Inneren der Kammer befindet sich das Zerstäubungswerkzeug einschließlich Ziel, Platte, Bodenplatte und Antriebseinheit. Der Zerstäubungsprozess nutzt ein Magnetfeld, um die Oberfläche des zu zerstäubenden Materials zu optimieren. Dadurch wird eine gleichmäßigere Filmabscheidung gewährleistet. Zielmaterialien können ausgewählt werden, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen und können von Kohlenstoff, Aluminium, Kupfer und Edelstahl reichen. ULVAC Ceraus ZX-1000 ist komplett automatisiert und verfügt über anspruchsvolle Sicherheitsmerkmale für maximale Effizienz und Schutz. Dieses Asset ist einfach zu bedienen und enthält mehrere Funktionssätze, was es zu einer idealen Lösung für Industrie- und Forschungsanwendungen macht.
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