Gebraucht ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274945 zu verkaufen
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ID: 9274945
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Sputtering systems, 8"
Turbo pump: TMP 202LM
Reflow
Degas
Ti/TiN LTS
Ti
Al
Cryo pump: Cryo-T8PN
With (4) RS5 Refrigerators
1996 vintage.
ULVAC Ceraus ZX-1000 ist eine Sputteranlage, die eine Vielzahl von Anwendungen für die Dünnschichtabscheidungstechnologie ermöglicht. Es verwendet Hochfrequenz-Hochfrequenz (HF) -reaktives Sputtern, um Filme mit gleichmäßiger Dicke, hoher Dichte, geringer Beanspruchung und ausgezeichneten elektrischen und optischen Eigenschaften zu erzeugen. Mit dieser Technologie können dünne Folien auf Metall-, Glas- oder Keramiksubstrate jeder Form oder Größe aufgebracht werden, wodurch die Folieneigenschaften angepasst und letztlich komplexe Strukturen geschaffen werden können. ULVAC CERAUS ZX 1000 verfügt über einen modularen Aufbau, der es ermöglicht, die spezifischen Anforderungen einer Anwendung zu erfüllen. Es hat zwei Kammern; eine Prozesskammer und eine Vorprozesskammer. In der Prozesskammer wird HF-Sputtern verwendet, um dünne Filme auf einem Substrat innerhalb einer kontrollierten Umgebung abzuscheiden. Diese Kammer verfügt über ein Sockelfrequenzsputtersystem, das hohe Abscheideraten und eine präzise Steuerung der Prozessparameter ermöglicht. In der Vorprozesskammer können verschiedene Filmaufbereitungstechniken wie Entgasung, Glimmentladung und leichtes O2-Ätzen implementiert werden. Das Gerät ist mit einem fortschrittlichen Softwarepaket ausgestattet, das eine effiziente und präzise Kontrolle über den gesamten Abscheideprozess ermöglicht. Es verfügt über mehrere erweiterte Funktionen, einschließlich Vakuum-Reinigungszyklen, automatischer Wiederherstellungsschutz, Stoppen unter voreingestellten Bedingungen und Datenprotokollierung. Die Maschine ist auch so konzipiert, benutzerfreundlich zu sein, mit intuitiven und anpassbaren Operationen. Das HF-Sputterverfahren kann verwendet werden, um eine breite Palette von Dünnschichtmaterialien wie Metall, Oxid, Nitrid und Legierungsfolien abzuscheiden. Diese Folien können in Dicken von wenigen Nanometern (nm) bis zu mehreren Millimetern abgeschieden und in Anwendungen wie Halbleitern, Flachbildschirmen, optischen Bauelementen und medizinischen Geräten eingesetzt werden. Ceraus ZX-1000 hat auch die Fähigkeit, Antireflexionsschichten, Schutzschichten und dekorative Oxidfolien aufzubringen. Durch seine hochentwickelten Funktionen und Funktionen ist CERAUS ZX 1000 ein sehr vielseitiges und effektives Sputterwerkzeug. Der modulare Aufbau und die ausgeklügelte Software machen es einfach, für jede spezifische Anwendungsumgebung anzupassen, und seine robuste Konstruktion gewährleistet eine qualitativ hochwertige Folienabscheidung und einen zuverlässigen Betrieb für die kommenden Jahre.
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