Gebraucht ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274947 zu verkaufen
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ID: 9274947
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Sputtering system, 8"
Turbo pump: TMP 202LM
Reflow
Degas
Ti/TiN
(2) AI
Cryo pump: Cryo-T8S
With (2) RS10 Refrigerators
Cryo pump: Cryo-T8PN
With (2) RS5 Refrigerators
1995 vintage.
ULVAC Ceraus ZX-1000 ist eine Sputteranlage für qualitativ hochwertige physikalische Bedampfungsprozesse (PVD). Es ist in der Lage, verschiedene dünne Beschichtungen auf Substrate jeder Form, Größe oder Material abzuscheiden. Es eignet sich besonders für eine Vielzahl von Speicherplattenbeschichtungen, wie Festplattenspeicher, Halbleiter, LCDs und Solarzellen. ULVAC CERAUS ZX 1000 verfügt über zwei Magnetron-Sputterkathoden und eine Elektronenstrahlkanone zur Sputterabscheidung. Seine Zwei-Kathoden-Sputterfunktionen ermöglichen hohe Abscheidungsraten von bis zu 400 nm/min und können einen SRP < 1% erreichen. Die Elektronenstrahlpistole kann mit ihrem hochdirektionalen Partikelstrom für eine höhere Präzision sorgen, was höhere Sinterraten und eine verbesserte Haftung der Beschichtung ermöglicht. Darüber hinaus ist das System mit einer sauerstoffgesteuerten Kammer ausgestattet, die für Oxidationsbehandlungen und eine Ultraschall-Rückseitenreinigung zur Vorbereitung des Substrats zur Abscheidung verwendet werden kann. Um die Leistung und Genauigkeit des Geräts sicherzustellen, verfügt es über eingebaute Inspektions- und Prüfwerkzeuge, um die Qualität der Beschichtung zu überprüfen. Dazu gehören Endpunktdetektion, Dickenmessungen und andere Routineversuche zur Beobachtung der Prozessbedingungen und des Fertigprodukts. Um die Bedienung der Maschine zu erleichtern, verfügt Ceraus ZX-1000 über eine Werkzeugsteuerung, mit der sie von überall aus mit webbasiertem Zugriff betrieben werden kann. CERAUS ZX 1000 Sputteranlage bietet Anwendern viele Vorteile. Es eignet sich für eine Vielzahl von Beschichtungsanwendungen, einschließlich optischer Komponenten, magnetischer oder magnetooptischer Aufzeichnungsmedien und Dünnschichtsolarzellen. Es kann hohe Abscheidungsraten erzielen und gleichzeitig Präzision und Genauigkeit in seinen Ergebnissen bieten. Das Modell verfügt auch über eingebaute Prüf- und Inspektionswerkzeuge und kann fernbedient werden, so dass es bequem und effizient ist. Mit seinen verschiedenen Funktionen ist ULVAC Ceraus ZX-1000 Sputtergeräte ein vorteilhaftes System, das eine Reihe von Optionen für Benutzer bietet.
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