Gebraucht ULVAC Ceraus ZX-1000 #9390643 zu verkaufen

ULVAC Ceraus ZX-1000
Hersteller
ULVAC
Modell
Ceraus ZX-1000
ID: 9390643
PVD Systems.
ULVAC Ceraus ZX-1000 ist eine Sputter-Abscheidung, die sich ideal für Anwendungen in der Halbleiterindustrie eignet, die eine präzise Filmabscheidung erfordern. Das System nutzt ULVAC vollautomatische, zentralvakuumartige Verarbeitung, um einheitliche Dünnschichtbeschichtungen auf jeder Art von Oberfläche mit ultimativer Genauigkeit zu erstellen. Dieses Gerät ist mit einer breiten Palette von Sputtermaterialien kompatibel, einschließlich Metallen, Metalloxiden, Nitriden und Kohlenstoffmaterialien. Seine Zentralvakuummaschine, zusammen mit einem selbst erzeugten, geschlossenen Regelungsmechanismus, trägt dazu bei, eine saubere Betriebsumgebung zu schaffen und keine Kontamination durch externe Quellen zu gewährleisten. ULVAC CERAUS ZX 1000 verfügt über eine Quellbaugruppe für jedes Zielmaterial, die flexible Abscheidungstechniken ermöglicht. Dies beinhaltet die Möglichkeit, Einzel- und Doppelkathodenkonfigurationen sowie Richtungssputtern zu verwenden. Dieses Tool verfügt auch über ein aktives Magnetfeld, so dass Benutzer lineares Ionenflusszielen mit hochgenauer Abscheidung und Niedrigtemperaturverarbeitung erreichen können. Darüber hinaus ermöglicht es eine gleichmäßige Abscheidung sowohl in planaren als auch in säulenförmigen Konfigurationen. Ceraus ZX-1000 nutzt die Folienwachstumstechnologie, um Schichtdicke und Folienzusammensetzung genau zu steuern. Diese Anlage nutzt eine Reihe von Wafer-Rotationsstufen, um eine gleichmäßige Abscheidung auf allen Seiten des Substrats zu erreichen, wodurch unerwünschte Schwankungen der Oberflächeneigenschaften vermieden werden. Zusätzlich steht eine mehrstufige Temperaturregelung zur Feinabstimmung der Folieneigenschaften zur Verfügung. Die Kammer verfügt außerdem über ein Acht-Taschen-Kassetten-Turbopumpenmodell für optimale Pumpfähigkeit sowie eine Leyden Jar-Schaltung zur elektrostatischen Verhinderung. Schließlich hat CERAUS ZX 1000 eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen eingebaut, wie ein Sicherheitsmonitor-Display und eine verriegelte Tür. Dadurch werden Anwender vor einer potenziellen zufälligen Exposition gegenüber gefährlichen Prozessen geschützt. Darüber hinaus ist dieses Gerät mit seinen automatischen Be- und Entlademechanismen 24 Stunden ohne Bediener bedienbar. Dies gewährleistet einen kontinuierlichen und hocheffizienten Produktionsprozess. Insgesamt ist ULVAC Ceraus ZX-1000 ein ideales Sputtersystem für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Mit modernster Technologie und anpassbaren Funktionen liefert es schnell und sicher präzise Ergebnisse.
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