Gebraucht ULVAC Ceraus ZX-1000 #9409842 zu verkaufen

ULVAC Ceraus ZX-1000
Hersteller
ULVAC
Modell
Ceraus ZX-1000
ID: 9409842
Sputtering system.
ULVAC Ceraus ZX-1000 ist eine fortschrittliche Sputteranlage, die Dünnschichtmaterialien hochpräzise auf Substraten aufbringt. Es verwendet eine Vielzahl von Ausgangsmaterialien, einschließlich Metalle, Legierungen, Metalle, Polymere, Isolatoren und andere Spezialmaterialien, um eine Reihe von verschiedenen Dünnschichtstrukturen zu erstellen. Das System ist in der Lage, eine bis zu vier Meter große Abscheidungsflächendeckung mit drei verschiedenen Abscheideverfahren, nämlich DC oder Magnetronsputtern, Ionenstrahlsputtern (IBS) und Elektronenstrahlverdampfung (EB), zu liefern. Das Gerät verfügt über eine robuste Kammerkonstruktion mit einer 4-stufigen turbomolekularen Pumpmaschine, die den Druck innerhalb der Kammer unter einem Millionstel einer Atmosphäre hält. Es verfügt über einen Multipositions-Kipprevolver für einfachen Substrataustausch und eine externe Probenbackoption zur Aufrechterhaltung einer optimalen Kammerumgebung während der Prozessläufe. Darüber hinaus weist die Kammer ein internes Gaseinspritzwerkzeug zur Steuerung der Atmosphäre und eine automatische Gassteuerung zur automatischen Durchflußmengeneinstellung auf. Die Anlage umfasst ein Tofutron RF/DC-Netzteil mit fortschrittlicher Hybrid-Puls-Stromversorgungstechnologie und Hochfrequenz-Generator-Option, die eine hohe Abscheidungsrate und verbesserte Prozessstabilität ermöglicht. Die Stromversorgung kann mit anderen Plasmaprozessbestandteilen einschließlich einer HF/DC bipolaren Stromquelle verbunden und magnetron Quellen mit Hochfrequenzstromversorgungskonfigurationen vorgebracht werden. Diese Kombination mehrerer Parameter innerhalb des Modells ermöglicht eine präzise Kontrolle von Materialabscheidungsraten, Gleichmäßigkeit, Haftung und kristalliner Perfektion. ULVAC CERAUS ZX 1000 bietet eine Vielzahl von Funktionen für hochpräzise Sputteranwendungen. Es verfügt über eine fortschrittliche Überwachungsausrüstung für eine enge Prozesskontrolle, einschließlich Sauerstoff und inerte Messgeräte, eine Druckmessanzeige und SEM-Fotos. Es ermöglicht auch die Fernüberwachung und Steuerung des Systems über eine Touchscreen-Schnittstelle. Darüber hinaus bietet das Gerät fortschrittliche Sicherheitsmerkmale wie eine Gaserkennungsmaschine, ein Reinigungswerkzeug und eine Notabschaltfunktion. Abschließend ist Ceraus ZX-1000 ein fortschrittliches, zuverlässiges Asset, das für Präzisionssputteranwendungen entwickelt wurde. Es bietet verschiedene neueste Funktionen wie ein robustes Kammerdesign, mehrere Abscheideprozesskonfigurationen, erweiterte HF/DC-Netzteile und integrierte Sicherheitssysteme. Diese Eigenschaften gewährleisten hochwertige Dünnschichtprozesse und machen das Modell zu einer idealen Wahl für Forschungs- und Produktionssputteranwendungen.
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