Gebraucht ULVAC Cryo-T12CBH #9380745 zu verkaufen
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Die Sputterausrüstung ULVAC Cryo-T12CBH ist ein modernes Sputterwerkzeug, das in der Lage ist, eine Hochgeschwindigkeitsabscheidung dünner Metallfolien zu erreichen. Dieses System ist auf Kosten, Leistung und Prozessoptimierung mit einem Vakuumbereich von 1x10-7 ~ 3x10-3 Pa. ausgelegt. Es ist auch in der Lage, ultrahochreine Metallfolien mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und perfekter Ebenheit mit einer Gesamtdicke von 1 ~ 3.000 nm zu produzieren. Cryo-T12CBH ist mit einer fortschrittlichen kryogenen Kühleinheit ausgestattet, mit der das Substrat während des Abscheideprozesses auf -180 ° C abgekühlt wird. Hierdurch wird sichergestellt, daß eine gleichmäßige Filmabscheiderate über das gesamte Substrat erreicht werden kann, was zu einer gleichmäßigeren Schichtdicke führt. Die Maschine enthält auch eine Elektronenstrahlquelle für die Substratvorreinigung. Die Vorreinigung entfernt die Oberflächenhaftung und reduziert die Rauheit der diamantartigen Kohlenstoffschicht, wodurch die Oberflächenqualität des Substrats vor der Filmabscheidung verbessert wird. ULVAC Cryo-T12CBH verfügt über eine hohe Abscheiderate, ein unabhängiges Temperaturregelwerkzeug sowie einen gleichmäßigen Gasfluss, der eine präzise Steuerung der Prozesskammerumgebung ermöglicht. Dies führt zu einer minimalen Metallabsorption in das Substrat und einer höheren Abscheiderate. Das Sputtergut verfügt außerdem über eine optionale Vorionisationskammer, mit der das Verhalten von Gasmolekülen, die in die Prozesskammer gelangen, verändert wird. Dies hilft, das Problem der Plasmadesorption aus einem wachsenden Film zu reduzieren, was zu einer höheren strukturellen Filmintegrität führt. Cryo-T12CBH ist in der Lage, die Filmhärte und Haftfestigkeit durch den Einsatz von UV Assist zu erhöhen, der eine überwachte UV-Lichteinwirkung auf das Substrat während des Sputterprozesses beinhaltet. Dies hilft, Foliendefekte zu reduzieren und verbessert langfristige Filmsicherheit und -stabilität, was zu einer gleichmäßigeren und flacheren Abscheidung führt. ULVAC Cryo-T12CBH wurde entwickelt, um vielfältige Anwendungsanforderungen zu erfüllen, einschließlich Überschichtbeschichtung, Partikelstrahlabscheidung, mehrschichtige Folienstapel und Niedertemperatur-Wasserstoffbehandlung. Dieses Sputtermodell ist eines der effizientesten und kostengünstigsten Werkzeuge zum Sputtern dünner Metallfolien auf eine Vielzahl von Substraten. Mit seinen fortschrittlichen Technologien und seiner Langlebigkeit ist Cryo-T12CBH eine zuverlässige Wahl für jede Sputteranwendung.
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