Gebraucht ULVAC CS-200 #9156832 zu verkaufen

ULVAC CS-200 ist eine Sputteranlage, die von ULVAC, einem Marktführer für Vakuumtechnologien, entwickelt und hergestellt wurde. Es ist für die Abscheidung von dünnen Filmen für Anwendungen einschließlich Halbleiterbauelementherstellung, optische Bauelemente und Datenspeicherung konzipiert. CS-200 ist eine Tischplatte, Einkammer-System mit Magnetron-Sputtern. Es ist einfach zu installieren und für niedrige bis mäßig hohe Abscheideraten geeignet. ULVAC CS-200 verwendet einen kreisförmigen Substrattisch mit bis zu 6 Substrathaltern, die eine maximale Substratgröße von 300 mm erreichen können. Quellen sind direkt über dem Substrattisch angebracht und können unabhängig über die Substratoberfläche bewegt werden, um gleichmäßige Ablagerungen zu erzeugen. Das Gerät kann bis zu vier Sputterquellen aufnehmen, darunter sowohl Standard-Magnetrons als auch HF-Sputterquellen. Eine Turbomolekularpumpe liefert der Maschine einen Basisdruck von 2 x 10-5 Pa. Sie ist mit einer Drehflügelpumpe für eine Gesamtpumpendrehzahl von 10.000 L/s gekoppelt. Es verfügt auch über eine saubere, vielseitige und einfach zu bedienende Touchscreen-Schnittstelle. CS-200 nutzt auch mehrere Sicherheitsmerkmale, einschließlich eines Druckverriegelungswerkzeugs, das die Hochspannungsquellen automatisch deaktiviert, wenn der Druck über den Sollwert steigt, eines motorisierten Verschlusses, der eine unbeabsichtigte Exposition gegenüber der Kammer verhindert, und eines Lüftermonitors, um eine ordnungsgemäße Kühlung der Stromquellen zu gewährleisten. ULVAC CS-200 ist die perfekte Wahl für Sputteranwendungen mit niedriger bis moderater Sputterrate, einschließlich solcher, die mehrere Ziele erfordern. Seine fortschrittlichen Eigenschaften, wie die unabhängige Bewegung der Quellen und eine hochpräzise Druckverriegelung sorgen für Wiederholbarkeit und präzise Filmabscheidung. Der zuverlässige, hocheffiziente Betrieb von CS-200 ermöglicht es Benutzern, das Beste aus ihrem Sputtermodell herauszuholen.