Gebraucht ULVAC CV-200 #9251716 zu verkaufen

ULVAC CV-200
Hersteller
ULVAC
Modell
CV-200
ID: 9251716
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2005
Sputtering system, 6" 2005 vintage.
ULVAC CV-200 ist eine Sputteranlage, die für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen verwendet wird. Es wird hauptsächlich zum Aufbringen dünner Filme auf eine Vielzahl von Substraten verwendet, um eine gewünschte elektrische, optische oder thermische Charakteristik zu erreichen. Das Sputtersystem ist sehr vielseitig und bietet Plasmaionisation für höhere Abscheidungsgeschwindigkeit und hohe Teilchendichte. Die Einheit besteht aus einer Hochvakuum-Sputterkammer, einer Heiz- und Kühlmaschine, einem rotierenden Substrattisch und einer Vielzahl von Hochvakuumkomponenten wie einer Ionenquelle, Massenspektroskopie und einer Dünnschicht-Abscheidungs-API. Die Sputterkammer ist mit vier Hochleistungs-Magnetron-Sputterquellen, einem leistungsstarken Umkehrmagnetron-Modus zur gleichmäßigen Filmabscheidung und fortschrittlichen digitalen Steuerungen zur präzisen Steuerung von Parametern ausgestattet. Das Heiz- und Kühlwerkzeug besteht aus einem wassergekühlten keramischen Heizelement, Peltier-Kühler und einer flüssigen Stickstoffkühlung für schnelle Kühlung und Heizraten bis 500 ° C. Der rotierende Substrattisch weist variable Drehzahlen, Drehpausen- und Startfunktionen sowie eine automatische Substratorientierung zur präzisen gleichmäßigen Dünnschichtabscheidung auf. Das Modell nutzt fortschrittliche Ionenquellentechnologie, die einen innovativen Hohlkathoden-Ionisator und Plasmazelle hat. Eine optionale zweite Ionenquelle ist ebenfalls verfügbar, die eine Doppelquellenkonfiguration verwendet, die einen Hohlkathodenemitter und einen planaren Ionisator aufweist, der höhere Ionen- und Teilchendichten ergibt. Das Gerät hat auch eine massenspektroskopische Funktion, die die aktiven Spezies in den gesputterten Ablagerungen analysieren kann, um sie zu überwachen. Eine erweiterte Dünnschicht-AbscheidungsAPI ist auch für die fortschrittliche Prozessüberwachung und -steuerung mit digitalen Signalen enthalten. Auf diese Weise kann der Benutzer die Abscheidungsparameter definieren, Simulationen ausführen, um den Prozess zu optimieren und die ideale Abscheiderate und Gleichmäßigkeit leicht beibehalten. ULVAC CV 200 ist extrem einfach zu bedienen und liefert hervorragende Dünnschichtabscheidungsergebnisse. Es bietet eine breite Palette von anpassbaren Parametern, so dass der Benutzer das System an seine spezifische Anwendung anpassen. Es ist in der Lage, hohe Abscheidungsraten und präzise Gleichmäßigkeit, so dass es die ideale Wahl für eine Vielzahl von Dünnfilm-Abscheidungserfordernissen.
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