Gebraucht ULVAC EBX 2000 #9243792 zu verkaufen

ULVAC EBX 2000 ist eine Sputteranlage zur Herstellung dünner Folien für die Zwecke der Entwicklung, Produktion und Qualitätskontrolle. Das System bietet Hochdurchsatz, wartungsarme Dünnschichtabscheidung, mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Folieneigenschaften. ULVAC EBX-2000 ist einfach zu bedienen und kann eine Vielzahl von Materialien und Abscheidungsanwendungen verarbeiten. Die Einheit weist eine Doppelkammer-Konstruktion auf, die aus einer Quellkammer und einer Lastschloßkammer besteht. Diese Konstruktion ermöglicht es der Maschine, zwei Ziele gleichzeitig zu halten, was einen höheren Durchsatz ermöglicht. Die Load Lock Chamber bietet Platz für die Probenhandhabung, so dass die Quellkammer sauber bleibt und der Abscheidevorgang ungestört gehalten wird. Die Quellkammer der EBX 2000 besteht aus einer Magnetronquellen-Hauptplatine vom Typ ICN, einer Plasmaquelle, einer mechanischen Pumpe, einer Diffusionspumpe und einer Stützpumpe. Die Magnetronquelle vom Typ ICN liefert die Primärenergie für den Sputterprozess. Es treibt das Plasma an und erzeugt einen hochdichten energetischen Ionenstrahl. Dieser Strahl wird dann auf das Target gerichtet, wodurch das Targetmaterial von seiner Oberfläche ausgestoßen und auf das Substrat abgeschieden wird. Die mechanischen, Diffusions- und Stützpumpen sorgen für eine kontinuierliche Absaugung, um die Quellkammer sauber und frei von Verunreinigungen zu halten. EBX-2000 bietet eine breite Palette von Abscheideverfahren, von niedrigen Temperaturen bis zu hohen Temperaturen. Es ist auch in der Lage, Sputter-Ätzen, so dass die Entfernung von Filmen oder dünnen Schichten aus Proben. Das Werkzeug kann durch die Steuerung der Foliendicke und des Ziel-Substrat-Abstands eine überlegene Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit erreichen. Darüber hinaus ermöglicht die integrierte automatisierte Rezeptur-Funktion den Bedienern den Wechsel zwischen Rezepten und Prozessen. Mit ULVAC EBX 2000 können Anwender hochgleichmäßige, wiederholbare Sputterprozesse mit effizienter Dünnschichtabscheidung erreichen. Das vielseitige Design und die benutzerfreundliche Software machen es ideal für Entwicklungs- und Produktionsanwendungen und sorgen für gleichbleibende Qualität und Leistung.