Gebraucht ULVAC EBX-2000C #9260363 zu verkaufen

ULVAC EBX-2000C ist eine Sputteranlage für die Dünnschichtabscheidetechnik. Es verwendet elektromagnetische Wellen (EM) Beschleunigungstechnologie, die die Ionenquelle effizienter und schneller macht, ohne dass eine Druckumgebung oder andere Energiequellen erforderlich sind. Das System besteht aus einer Zielbaugruppe, einer Quellkammer, einer Vakuumkammer, einer Sputterpistole und einer optionalen Hilfskammer. Die Zielbaugruppe ermöglicht es, mehrere Ziele in einem einzigen Rahmen mit jeweils einem anderen Material zu halten, was ein schnelles und einfaches Wechseln von Materialien zum Sputtern ermöglicht. Die Quellkammer befindet sich dort, wo sich die Ionenquelle befindet, und sie ist über Fluidrohre mit der Sputterpistole verbunden. Die Vakuumkammer wird verwendet, um die notwendige Vakuumumgebung für das Sputtern zu schaffen, und kann eingestellt werden, um unterschiedliche Vakuumniveaus für verschiedene Abscheidungsprozesse bereitzustellen. Die Sputterpistole ist dort, wo das zu deponierende Material in die Einheit eingespeist wird und wo die EM-Beschleunigungstechnologie zum Einsatz kommt. Schließlich ist die Hilfskammer eine separate Kammer, die für zusätzliche Sputterabscheidungsprozesse verwendet werden kann. Um eine gute Filmabscheidung von ULVAC EBX 2000C zu gewährleisten, ist es wichtig, die richtigen Vakuumwerte, Sputterdrücke, Leistungsstufen und Substrattemperaturen aufrechtzuerhalten. Eine ordnungsgemäße Wartung der Maschine ist auch wichtig, um die Qualität des Abscheideprozesses zu gewährleisten. Dazu gehören die regelmäßige Reinigung der Quellkammer und der Sputterpistole sowie die Überprüfung der elektrischen Anschlüsse. Das Tool kommt auch mit einem Controller, der verwendet werden kann, um die Asset-Operationen zu programmieren und zu überwachen, sowie Daten-Protokollierung und Reporting-Funktionen, um den Überblick über die Ablagerungszeiten zu behalten. Insgesamt ist EBX 2000 C ein zuverlässiges und effizientes Sputtermodell mit mehreren Zielkonfigurationen für die Dünnschichtabscheidung. Es bietet eine breite Palette von Betriebsparametern, um den Prozess auf das gewünschte Dünnschichtprofil anzupassen, und bietet einen zuverlässigen und wiederholbaren Abscheidungsprozess, wenn ordnungsgemäß gewartet.