Gebraucht ULVAC EI-5 #293648862 zu verkaufen

ULVAC EI-5 Sputterausrüstung ist ein Hochleistungs-Abscheidungssystem zur Herstellung von Dünnschicht- und Metalloxidschichten. Es eignet sich für eine breite Palette von Anwendungen wie Präzisions-Dünnschichtabscheidung, Schutzschichten, Haftschichten, Metalloxidbeschichtungen und Dünnschichtschichten von Halbleitermaterialien. Der Kern von EI-5 verwertet ULVAC Electron-beam Kompaktgleichstrom, der Technologie stottert, einen planaren mit einem concentrative Elektronbalken verbundenen magnetron verwertend, um hoch homogene dünne Filme zu erzeugen. Sein 4-Achsen-Manipulator sorgt für eine präzise Steuerung und Richtung des Elektronenstrahls, was zu einer gleichmäßigen und wiederholbaren Dünnschichtabscheidung über große Flächen führt. Das Gerät ist auch mit einem Chamber Roll-Tilting Feature (CRT) ausgestattet, um Prozessungleichförmigkeiten durch invertierte Substrate zu beseitigen. ULVAC EI-5 ist in der Lage, dünne Folien mit einer breiten Palette von Dicken und Raten mit höchster Präzision zu produzieren. Es weist eine hohe Prozesswiederholbarkeit auf und kann vertikal oder horizontal betrieben werden. Das Rasterscannen an Bord ist mit einer Scangeschwindigkeit von bis zu 5 mm/s möglich. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine automatische Deinstallation und Reinigung, die Verschmutzungen verhindert und schnelle und effiziente Substratwechsel während des Betriebs ermöglicht. EI-5 Sputterwerkzeug ist kompatibel mit vielen ULVAC-Zubehörteilen, wie dem Staubsauger, Quellen, Targets und Masken. Es ist auch mit einem integrierten Asset-Controller ausgestattet, der eine einfache und genaue Prozessverwaltung sowie eine digitale visuelle Schnittstelle zur einfachen Anpassung von Parametern, Rezepten und Historie-Aufzeichnungen ermöglicht. Insgesamt bietet ULVAC EI-5 ein hocheffizientes und fortschrittliches Sputtermodell, das sich gut für die Herstellung hochwertiger Schichten und Strukturen mit Präzision und Wiederholbarkeit eignet. Seine kompakte Größe und Flexibilität macht es zu einer idealen Lösung für eine breite Palette von Dünnschichtabscheidungsanwendungen.