Gebraucht ULVAC EI-5 #293690584 zu verkaufen

ULVAC EI-5 ist ein industrielles Sputtersystem, das in Japan entwickelt und von ULVAC Technologies hergestellt wurde. Es verfügt über eine einteilige Struktur mit einem Magnetfeldgenerator und einer hochstabilen Vakuumkammer, so dass es eine optimale Wahl für eine hochgenaue physikalische Dampfabscheidung ist. EI-5 ist in der Lage, zwei Arten von Zielen gleichzeitig zu verarbeiten, so dass es sehr vielseitig für verschiedene zusammengesetzte Dünnschichtproduktion. Es hat ein kompaktes Design, eine gute Betriebsflexibilität und einen geringen Stromverbrauch, der ideal für den Dauerbetrieb über lange Stunden ist. Der Magnetfeldgenerator von ULVAC EI-5 besteht aus einem hocheffizienten und langlebigen Doppeldrehmagnetron, einem Linearmotorantrieb und einem Strommonitor. Durch die Steuerung des Stroms und die Bestrahlung der DC/RF-Leistung ist EI-5 in der Lage, das Magnetron-Sputtern einfach und präzise zu steuern. Die maximale Sputterrate beträgt 510 nm/min, wobei ein einzelnes Ziel verwendet wird. Die Vakuumkammer von ULVAC EI-5 nimmt eine neu gestaltete 6-Taschen-Zelle an und ist mit einem Schruppventil ausgestattet. Ein aktives Schruppsystem trägt zur Verbesserung der Vakuumstabilität bei und reduziert die Zeit zur Einstellung des Vakuumdrucks drastisch. Das Kammerinnere ist ebenfalls mit einem Edelstahlgeflecht beschichtet, um das Klemmmaterial zu reduzieren. EI-5 ist hocheffizient und hat einen beeindruckenden Durchsatz. Es ist mit verschiedenen Funktionen ausgestattet, darunter ein integrierter PC zur Steuerung und Überwachung, verschiedene Hochgenauigkeitssensoren und ein verbessertes Prozessleitsystem. Es ist eine ideale Wahl für optoelektronische, Flachbildschirme und Halbleiterproduktionsprozesse.