Gebraucht ULVAC EI-5 #293824737 zu verkaufen

ULVAC EI-5 ist eine Sputteranlage zur Beschichtung von Dünnschichten auf großflächigen Substraten. Es verwendet ein Elektron-Impact (EI) -Sputterverfahren, um dünne Beschichtungen von Einzel- oder Mehrkomponentenfilmen auf der Oberfläche flacher oder gekrümmter Substrate abzuscheiden. Das System umfasst eine EI-Quelle, die die Energie eines Elektronenstrahls nutzt, um auf das Kathodentarget zu treffen und zerstäubtes Material zu erzeugen, um Dünnfilmbeschichtungen über dem Substrat zu bilden. Die EI-Quelle kann verwendet werden, um eine Reihe von Materialtypen abzuscheiden, einschließlich Metalle, Legierungen, Isolatoren und Dielektrika. EI-5 Sputtereinheit verfügt über eine Doppelzonenkammer-Konstruktion, die es ermöglicht, ein großflächiges Substrat mit hoher Gleichmäßigkeit zu beschichten. Die Kammer besteht aus zwei Vakuumkammern: einer Hauptkammer und einer Pufferkammer. Die Probe wird in die Hauptkammer geladen, und die evakuierte Pufferkammer hilft, den Druck in der Hauptkammer während des Sputtervorgangs aufrechtzuerhalten. Dadurch kann sich die Beschichtung über die gesamte Probenoberfläche gleichmäßig ausbilden. ULVAC EI-5 Maschine verfügt auch über einen Blick-Port und seitlichen Zugang Port, um visuelle Inspektion der Probe während des Beschichtungsprozesses zu ermöglichen. EI-5 Sputterwerkzeug umfasst eine leistungsstarke Elektronenstrahlquelle mit einem großflächigen Ziel, das eine hohe Filmdichte und Gleichmäßigkeit erzeugen kann. ULVAC EI-5 verfügt zudem über eine programmierbare HF-Stromquelle zur Optimierung der Materialbildung. Dadurch kann der Sputterprozess für verschiedene Folienmaterialien und Substrattypen angepasst werden. Darüber hinaus ist die Anlage mit einem Magnesiumoxid (MgO) -Keramikzielhalter ausgestattet, der in der Lage ist, die Abscheidungsrate zu erhöhen und die Haftung des gesputterten Materials auf dem Substrat zu verbessern. Schließlich umfasst das Modell eine Werkstatt-Vakuum-Ausrüstung und Sicherheitsausrüstung, die eine Sicherheitsverriegelung umfasst. Dadurch wird sichergestellt, dass das Gerät sicher betrieben wird und die korrekten Betriebsabläufe eingehalten werden. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem ergonomischen Layout für einfache Bedienung, Wartung und Reinigung ausgelegt. Insgesamt ist EI-5 ein hochentwickeltes Sputterwerkzeug, mit dem dünne Filme aus verschiedenen Materialien über großflächige Substrate mit hoher Gleichmäßigkeit und Abscheiderate abgeschieden werden können. Mit seiner programmierbaren HF-Stromquelle, dem MgO-Keramik-Zielhalter und fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ist es ein idealer Vorteil für PVD-Dünnschichtbeschichtungsanwendungen.