Gebraucht ULVAC EI-5 #9107280 zu verkaufen

ULVAC EI-5 ist eine fortschrittliche Sputterausrüstung zur Dünnschichtabscheidung. Es bietet 5-Kammer simultanes Sputtern (2-Kammer vs 3-Kammer) mit unübertroffener Flexibilität und Gleichmäßigkeit im Sputtern, so dass es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich harte und weiche magnetische Materialien, für Hochleistungs-Halbleiter- und MEMS-Bauelemente. Die hochpräzise Bias-Sputterfähigkeit von EI-5 bietet die höchste Prozessgleichmäßigkeit über einen weiten Bereich und ermöglicht eine überlegene Produktkonsistenz über einen Wafer. Die Konstruktionsmerkmale des Systems sind für eine präzise Steuerung ausgelegt und ermöglichen es dem Anwender, aus einer Vielzahl von Sputterprozessen auszuwählen, wie Hochleistungs-DC-Sputtern, Hochfluss-Puls-DC-Sputtern und Hybrid-DC/Puls-Magnetron-Sputtern. Die einstellbaren Kammergrößen bieten die einzigartige Fähigkeit, jede Substratgröße, einschließlich großflächiger Rahmen, aufzunehmen. ULVAC EI-5 bietet auch optimierte Sputterkonstruktionen, die die Gleichmäßigkeit der Dünnschichtabscheidung und der Zielauslastung verbessern. Durch die optimale Zielkonstruktion entfällt die Notwendigkeit, mehrere kleine Ziele zu verwenden, wodurch die Kosten für die Reduzierung des Sputterprozesses vereinfacht und reduziert werden. Darüber hinaus trägt die innere Abschirmung der Sputterkathoden dazu bei, magnetische Sichtlinienrisiken zu eliminieren und Kreuzkontaminationen zwischen Kammern zu verhindern. Die Prozessüberwachung und -steuerung im geschlossenen Regelkreis führt zu konsistenten Ergebnissen und hilft bei der Optimierung von Laufzeit und Qualität. EI-5 ist mit einer Vielzahl von Vakuumkomponenten und Zubehör ausgestattet, um die anspruchsvollsten Anforderungen wie Sputterquellen, Stromversorgungen, Gashandhabung, Prozesssteuerungen und Sicherheitssysteme zu erfüllen. ULVAC EI-5 ist ein Muss für Anwender, die nach einer Sputtermaschine suchen, die ein zuverlässiges und qualitativ hochwertiges Produkt liefern kann. Mit seinem modularen, skalierbaren Design kann es eine Vielzahl von Anforderungen erfüllen, von einfachen bis zu anspruchsvollen Anwendungen, und ist die perfekte Wahl für diejenigen, die Kosten reduzieren und Leistung maximieren möchten.