Gebraucht ULVAC Ei-5K #293603151 zu verkaufen

ULVAC Ei-5K ist eine Sputteranlage zur Dünnschichtabscheidung. Es ist ein industrielles Sputtersystem, das für hohen Durchsatz ausgelegt ist. Die Einheit weist eine doppelte Magnetron-Sputterquelle auf, die mehrere Materialien gleichzeitig auf Substraten abscheiden kann. Die Maschine enthält auch eine drehbare Ziele und eine große grobe Steigung, die bei der Erzielung einer besseren Gleichmäßigkeit hilft. Das Werkzeug verfügt über eine große Kammer, die bis zu 5.000mm ^ 2 Substrate aufnehmen kann, was einen hohen Durchsatz und eine reduzierte Ladezeit ermöglicht. Die Substrathalterung ist motorisiert und ermöglicht ein schnelles Be- und Entladen von Substraten und ermöglicht eine Substratdrehung. Die Anlage verfügt über ein modernes Hochtemperaturheizelement und ein einstellbares Kühlmodell für das Substrat während der Abscheidung. Die Kammer ist auch mit einer Klasse 100 Reinraum Leckage Filtration Ausrüstung ausgestattet, die effektiv Partikel aus der Kammer entfernen und sauberen Betrieb zu gewährleisten. Die Steuerung und Überwachung des Systems erfolgt mit dem Original-RIB-Steuergerät ULVAC. Dies ermöglicht eine Echtzeitanalyse, Anpassung und Optimierung der Sputterrezeptparameter während der Abscheidung. Die Maschine verfügt über ein Multitask-Ausführungsverfahren zur gleichzeitigen Abscheidungsoptimierung und Fehlererkennung. Das RIB-Steuerwerkzeug ermöglicht auch die Überwachung von Substrattemperatur, Druck, Lichtbogenunterdrückungsstrom und Substratvorspannung. ULVAC EI 5 K hat eine Vielzahl von verschiedenen Anwendungen wie Beschichtung von Si-Wafer OLED-Displays, Speichergeräte und 3D-Struktur-Geräte bedient. Diese Sputteranlage eignet sich für jede Anwendung, die einen hohen Durchsatz und eine exakte Kontrolle zur Herstellung dünner Filme erfordert. Das Modell bietet maximale Flexibilität, so dass der Anwender das Rezept einfach an seine gewünschten Bedürfnisse anpassen kann. Ei-5K ist eine leistungsstarke und zuverlässige Sputterausrüstung, die sich für eine hochpräzise Dünnschichtabscheidung eignet.