Gebraucht ULVAC Ei-5K #293671659 zu verkaufen
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ULVAC Ei-5K ist eine leistungsstarke Sputteranlage, die für die Abscheidung dicker oder dünner Schichten auf großen und kleinen Substraten ausgelegt ist. Das System besteht aus einem Regler, einer Vakuumkammer und einer Ionenquelle. Die Steuerung ist für die Koordination der Eingänge von Kammer und Ionenquelle verantwortlich, um einen optimalen Einheitsbetrieb aufrechtzuerhalten. Es verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die eine einfache Aktualisierung und vollständige Maschinensteuerung ermöglicht. Es implementiert auch Roboteranwendungen, um vollautomatische Schichtabscheidungsprozesse bereitzustellen. Die Vakuumkammer dient als Sputterbereich, in dem verschiedene Abscheidungen auftreten, darunter Gleichstromsputtern und inertes oder reaktives Sputtern. Es ist für Lasten bis zu dreimal größer als herkömmliche Sputterabscheidung ausgelegt. Die Kammer ist auch mit einer wassergekühlten magnetischen Plasmaquelle ausgestattet, die eine erhöhte Ionisation von Zielmaterialien ermöglicht. Die Ionenquelle wird für optimiertes DC-Sputtern benötigt. Es beschleunigt kleine Partikel aus dem Zielmaterial (Quelle) auf die Substratoberfläche. Die Ionenquelle dient auch als Energiequelle für Zerstäubungswiderstand und als Wärmeenergiequelle für Schmelzen und Kristallwachstum. Die für die Sputterabscheidung verantwortlichen Ionen können auf jeden beliebigen Bereich des Substrats fokussiert werden. Zusammenfassend ist das Sputterwerkzeug ULVAC EI 5 K für effiziente Abscheideprozesse von dicken und dünnen Schichten auf großen und kleinen Substraten ausgelegt. Angetrieben von einem benutzerfreundlichen Controller, einer großen Vakuumkammer und einer Ionenquelle verspricht dieser Vorteil optimale Leistung und konsistente Ergebnisse.
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