Gebraucht ULVAC Ei-5K #9248803 zu verkaufen

ULVAC Ei-5K ist eine Single-Target-Metallsputteranlage, die für Halbleiterherstellung und Luft- und Raumfahrtanwendungen verwendet wird. Das System ist eine Ultrahochvakuum-Sputtertechnologie, die eine sehr hohe Prozesssteuerung bietet. Es verfügt über ein großes 4,5- x 6-Zoll-Sputterziel und zwei 5-Zoll-Sputterköpfe, die eine Vielzahl von Prozessanforderungen erfüllen können. Das Gerät verwendet ULVAC patentierte ULVAC EI 5 K Magnetronquelle für maximale Ionisation des Sputtermaterials und optimale Zielleistung. Dies erhöht die Ionenbeschießung des Targets, was zu einer verbesserten Materialabscheidungsgleichförmigkeit führt. Der hohe Leistungspegel der Maschine sorgt auch dafür, dass hohe Abscheideraten und ein effizienterer Sputterprozess erreicht werden können. Ei-5K verfügt über eine vollständig gerichtete Ionenquelle, die an die Form des Zielmaterials angepasst werden kann. Dies wird mit einem erweiterten optischen Emissionsspektroskopie (OES) -Werkzeug kombiniert, das die Überwachung der Abscheidung ermöglicht und eine erweiterte Prozesskontrolle ermöglicht. Die Anlage ist auch mit einem Gasliefermodell ausgestattet, das die Prozessumgebung für eine qualitativ hochwertige Abscheidung optimieren kann. Die Ausrüstung ist multifunktional und kann Metalle wie Aluminium, Kupfer, Chrom und Wolfram abscheiden. Es kann auch verwendet werden, um dünne Filme für dielektrische und antireflektierende Beschichtungsanwendungen abzuscheiden. Darüber hinaus ist das Sputtersystem sehr vielseitig und kann eine Vielzahl von Techniken wie Kompositionssteuerung, Gradientensputtern und reaktives Sputtern aufnehmen. EI 5 K ist mit einer Hochleistungs-Beschichtungsliefereinheit ausgelegt, die eine hervorragende Abscheidungsgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Es verfügt auch über einen Substrathalter mit einem Temperaturbereich von -20C bis + 150C. Dies ermöglicht eine Temperaturregelung des Substrats während des Beschichtungsprozesses, was zur Sicherstellung einer hochwertigen Materialabscheidung beiträgt. Insgesamt bietet ULVAC Ei-5K eine kostengünstige Lösung für Metallsputteranwendungen, die konsistente Ergebnisse erfordern. Die Kombination aus fortschrittlicher Technologie und hochpräzisen Prozessen liefert zuverlässige Ergebnisse bei gleichzeitig geringen Betriebskosten. Mit seinen vielen Eigenschaften ist diese Sputtermaschine für eine Vielzahl von Anwendungen gut geeignet und bietet ein zuverlässiges und effizientes Beschichtungswerkzeug.