Gebraucht ULVAC Ei-5K #9248804 zu verkaufen

ULVAC Ei-5K
Hersteller
ULVAC
Modell
Ei-5K
ID: 9248804
Weinlese: 2011
E-Beam evaporator 2011 vintage.
ULVAC Ei-5K ist eine Sputteranlage zur Abscheidung dünner Materialschichten auf der Probenoberfläche. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter Flachbildschirme, Optoelektronik, Solarzellen und Festplattenlaufwerke. ULVAC EI 5 K ist in der Lage, Wafer bis 200 mm Durchmesser zu handhaben und verfügt über eine integrierte Ionenreinigungsstation. Das Sputtersystem weist eine Sputterquelle vom Typ ULVAC DR-100 Diode auf, die vier Kathoden zur Abscheidung von vier verschiedenen Materialien gleichzeitig umfasst. Eine verstellbare Stufe ermöglicht eine präzise Steuerung des Funkenabstandes zwischen dem Substrat und der Kathode, wodurch eine gleichmäßige Schichtdickenabscheidung gewährleistet ist. Ei-5K verfügt auch über einen digitalen Substrat-Temperatursensor (DSTS). Dieser hochpräzise Temperatursensor ermöglicht eine genaue Überwachung der Abscheidetemperatur auf dem Substrat. Neben der Sputtereinheit verfügt EI 5 K über einen Nebenabschnitt, der eine Ionenquelle und ein Ionenreinigungsgestell umfasst. Die Ionenquelle besteht aus einer Ionenpistole und einem integrierten Ionenquellenadapter, der eine präzise Kontrolle der Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit der gesputterten Schicht ermöglicht. Das integrierte Ionen-Reinigungsgestell sorgt durch die Entfernung von Partikeln und Oberflächenverunreinigungen für Gleichmäßigkeit in der Sputterschicht. ULVAC Ei-5K ist eine einfach zu bedienende Maschine mit einem intuitiven Softwarepaket zur Steuerung und Überwachung des Abscheideprozesses. Die Software enthält auch eine grafische Schnittstelle zur Anzeige der Abscheidung in Echtzeit, die bei Bedarf eine genauere Anpassung der Abscheidungsparameter ermöglicht. ULVAC EI 5 K kann entweder manuell oder im automatisierten Job-Control-Modus ausgeführt werden und verfügt auch über einen Endpoint Monitor, der in Echtzeit Feedback zum Fortschritt des Abscheidungsprozesses gibt. Der Automatisierte Job-Control-Modus ist besonders nützlich für große Ablagerungen, da er es dem Benutzer ermöglicht, einen Ablagerungsauftrag mit den Parametern zu konfigurieren und das Tool dann autonom laufen zu lassen, bis der Auftrag abgeschlossen ist. Insgesamt ist Ei-5K eine leistungsstarke Sputteranlage, die sich ideal für eine Reihe von Anwendungen eignet, von Flachbildschirmen über Optoelektronik bis hin zu Solarzellen. Es ist benutzerfreundlich und bietet eine zuverlässige Plattform für die Abscheidung dünner Materialschichten auf der Probenoberfläche.
Es liegen noch keine Bewertungen vor