Gebraucht ULVAC Ei-5K #9305863 zu verkaufen

ULVAC Ei-5K ist eine leistungsstarke Sputteranlage, die eine präzise und zuverlässige Abscheidung von dünnen Folien ermöglicht. Es verfügt über modernste Technologien, einschließlich Hochleistungs-Impuls-Bias-Sputtern und einem Elektronenstrahl-Angriff-Sputtermodul. ULVAC EI 5 K ist für die schnelle Abscheidung einer breiten Palette von Materialien entwickelt, die die Bildung von Metallfolien, dielektrischen Folien und Gerätestrukturen ermöglicht. Ei-5K verfügt über eine wassergekühlte Magnetron-Sputterquelle mit dreiachsiger motorisierter Bewegungssteuerung zur präzise gesteuerten Substratabschirmung und zwei getrennten und unabhängig gesteuerten Beschleunigungs- und Vorspannquellen. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Abscheidung von Metall- und dielektrischen Schichten mit ausgezeichneter Haftung und Stöchiometrie. Das integrierte hochstabile, hochauflösende Überwachungssystem sorgt für präzises Sputtern von hochwertigen Folien. Das Elektronenstrahl-Sputtermodul von EI 5 K bietet eine feinkörnige Kontrolle über die Mikrostruktur abgeschiedener Metallfolien. Das Modul steuert exakt die Beschussenergie und den Fluss des Strahls, was eine verringerte Spannung, eine erhöhte Kristallinität und eine verbesserte Vorwärtsstreuung von Folienoberflächen ermöglicht. ULVAC Ei-5K Controller hat eine Vielzahl von vorprogrammierten Rezepten für verschiedene Anwendungen, wie Mehrschichtstapel für Diffusionsbarrieren, hochbrechende Indexschichten und Low-K-Dielektrika. ULVAC EI 5 K verfügt zudem über ein verbessertes Helium-Rückseite-Plasmamodul für erhöhte Plasmagleichförmigkeit sowie eine fortschrittliche magneto-hydrodynamische (MHD) Steuerung für stabilisierte Temperaturen und reduzierte Schwankungen während der Plattenwerkstückaufnahme. Die Einheit ist für die Hochdurchsatzverarbeitung ausgelegt, die eine schnelle, gleichmäßige Dünnschichtabscheidung und Abscheidung sowohl leitender als auch nichtleitender Metallbeschichtungen, dielektrischer Filme sowie optischer Schichten ermöglicht. Schließlich ist die Maschine mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich eines Plattenauslöseschalters, optionaler HF-Plasmageneratoren, Luftpumpen, Gasfördersystemen und Feuchtigkeitspumpen für die saubere Gaslieferung. All diese Eigenschaften machen Ei-5K zur idealen Wahl für hochpräzise Dünnschichtabscheidungen in Halbleiter-, Optoelektronik- und verschleißfesten Beschichtungsanwendungen.