Gebraucht ULVAC Ei-5K #9364552 zu verkaufen

ULVAC Ei-5K
Hersteller
ULVAC
Modell
Ei-5K
ID: 9364552
Wafergröße: 2"-6"
E-beam evaporator, 2"-6".
ULVAC Ei-5K ist eine Hochleistungs-Sputteranlage für harte Beschichtungsanwendungen. Es ist eine der neuesten Entwicklungen der ULVAC Produktlinie. Das System verfügt über eine Gasmanagementeinheit zur einfachen Steuerung von Sputterquellen sowie über ein fortschrittliches dynamisches Vakuumdesign zur präzisen Druckregelung. Die Maschine bietet sowohl DC- als auch RF-Sputtern mit einer 1-2 kW-Stromquelle, was eine hervorragende Filmgleichförmigkeit und hohe Abscheideraten ermöglicht. ULVAC EI 5 K verfügt zudem über ein leistungsstarkes Substratspannwerkzeug für maximale Prozessstabilität und zuverlässige Ergebnisse. Ei-5K verfügt über eine Acht-Ziel-Lastschloßkammer mit einem kombinierten Kühlen Brenner und Prozesskammer. Die Kammer eignet sich für die Handhabung einer Vielzahl von Substraten, einschließlich großer Platten, bis 610 mm. und zylindrische Objekte. Es verfügt über eine Ziellastkapazität von bis zu acht Zielen und eine Dual-Gas-Box-Anlage. EI 5 K hat ein einzigartiges Unterstützungsmodell, um mehrere Abscheidungsprozesse mit verschiedenen Magneten und anderen Elementen zu behandeln. Zur überlegenen Prozesssteuerung bietet ULVAC Ei-5K einen Helium-Lecksucher zur Erkennung von Gasleckagen sowie eine hochmoderne Ausrüstung zur Überwachung und Regelung der Substrattemperatur. Es verfügt auch über ein mehrsegmentiges Leistungssteuerungssystem, um eine präzise Filmabscheidung verschiedener Materialien zu ermöglichen. ULVAC EI 5 K verfügt auch über eine digitale Datenerfassungseinheit, die eine Fernsteuerung und Datenerfassung durch einen Computer oder eine SPS ermöglicht. Ei-5K ist eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl von harten Beschichtungsanwendungen, wie Beschichtung für keramische Teile, medizinische Geräte und ITO-Dünnschichtanwendungen. Es eignet sich auch zur Abscheidung von Magnetron- und Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition (PACVD) -Prozessen. Die Maschine bietet eine bemerkenswerte Gleichmäßigkeit und Stabilität des Ziel-Substrat-Abstandes, eine begrenzte Substratheizung und eine hervorragende Temperaturregelung. Um zuverlässige und überlegene Ergebnisse zu gewährleisten, bietet EI 5 K eine Vielzahl von automatischen Funktionen wie automatische Reinigung, automatische Entlüftung, automatische Panne und automatische Sperrung. ULVAC Ei-5K ist eine ideale Wahl für diejenigen, die um harte Hochleistungsüberzuganwendungen kämpfen.
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