Gebraucht ULVAC Ei-5K #9402604 zu verkaufen

ULVAC Ei-5K Sputtergeräte sind ein leistungsstarkes Werkzeug, ideal für Anwendungen mit physikalischer Bedampfung (PVD). Es kann eine breite Palette von Materialien in einer kontrollierten, wiederholbaren Weise abscheiden, so dass es nützlich für die Abscheidung dünner Filme für eine Vielzahl von Halbleiter-, optoelektronischen und Energiespeichervorrichtungen ist. Das System ermöglicht die Bearbeitung von bis zu vier Substraten in einem Vakuumzyklus. Die Substrate können im Durchmesser von 2 „bis 8“ reichen. ULVAC EI 5 K ermöglicht eine breite Palette von Plasmaleistungen von 0-3000W bis hin zu einem maximalen Leistungsbereich von 200-2000W. Dieses Gerät verfügt auch über eine breite Palette von Dickensteuerungsprofilen im Bereich von 0,1 - 1000nm, so dass es eine geeignete Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen. Seine von der Schwerkraft gespeisten Dual-Source-Effusionszellen ermöglichen die Verwendung separater Quellen für verschiedene Werkstücke. Dies sorgt für optimale Ergebnisse für jedes Substrat. Die Zellentüren sind leicht zu öffnen, um Substrate bequem zu be- und entladen. Die Maschine verwendet eine breite Palette von Prozessgaskombinationen, von O2 bis Ar/N2, so dass verschiedene Arten von Schichten. Es ermöglicht auch eine extern erschöpfte Quellkonfiguration. Dieses Werkzeug ist mit einem siebenkanaligen Massenstromregler ausgestattet, der den Durchfluss der Gase misst und auf den gewünschten Druck treibt. Das Asset bietet eine Reihe von Abscheidungsmodi, einschließlich Pulsed DC, DC und DC + RF-Sputtern, was eine bessere Abscheidungsratenkontrolle ermöglicht. Dieses Modell hat eine robuste Glockenglas Vakuumkammer, so dass es für mehrere Prozesse geeignet. Darüber hinaus sorgen die verriegelten Sicherheitsmerkmale für einen sicheren Betrieb der Ausrüstung. Darüber hinaus verfügt das System auch über eine intuitive Touchscreen-Oberfläche mit Rezeptspeicher. Dies erleichtert die Konfiguration und Ausführung von Prozessen mit weniger Schritten. Darüber hinaus ermöglicht die eingebaute Datenerfassungsfähigkeit eine einfachere Auswertung der Prozessparameter. Schließlich kommt Ei-5K auch mit Lehrmaterial, so dass es ideal für Benutzer, die nicht vertraut mit Ausrüstung Setups. Abschließend ist EI 5 K ein flexibles, benutzerfreundliches Werkzeug, das sich gut für eine Vielzahl von PVD-Anwendungen eignet. Diese Sputtereinheit bietet eine breite Palette von Dickensteuerungsmöglichkeiten sowie verschiedene Abscheidungsmodi. Darüber hinaus ermöglicht die intuitive Touchscreen-Oberfläche eine einfache Bedienung und Datenprotokollierung, um genaue Ergebnisse zu gewährleisten.