Gebraucht ULVAC ei-5t #293814829 zu verkaufen
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ID: 293814829
E-Beam evaporator
EGL‑406M EB source
HPS‑1000S‑100 power supply
Beam sweep control
Vacuum сhamber
Hearth rotation feedthrough
Internal jig system
Substrate heating system
Source shutter
(8) Lamp heaters: 6 kW
(4) Quartz glass shields
Heater power supply
Temperature controller
Thermocouple
CRYO‑U16P / C30VR vacuum pump
LR90 dry pump
Roughing valve
Vent valve
CRTM‑9000 deposition controller
Sensor shutter
PLC / PC control
Touch panel operation
Electric parts set
Compressed air system
Cooling water system
208V → 200V step‑down transformer
Vacuum gauges:
G‑TRAN BMR2
G‑TRAN BPR2
G‑TRAN SP1.
ULVAC EI-5 ist eine hochpräzise Sputterausrüstung von ULVAC, einem japanischen führenden Hersteller von Vakuumtechnik und Dünnschichtabscheidungsgeräten. Dieses System ist ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionsanwendungen, da es mit mehreren Funktionen ausgestattet ist, um seine Leistung zu maximieren. EI-5 ist eine fortschrittliche Sputtereinheit, die eine breite Palette von Funktionen wie hochpräzise Prozesssteuerung, eine Multi-Target-Konfiguration und einen großen Arbeitsbereich bietet. Es ist mit einer einzigen Säulenstruktur gebaut und kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 400 mm verarbeiten. Darüber hinaus bietet diese Sputtermaschine eine hohe Gleichmäßigkeit und ausgezeichnete Reproduzierbarkeit, wodurch sie für die Herstellung von Mehrschichtstrukturen geeignet ist. Um seinen hohen Leistungsansprüchen gerecht zu werden, ist das Werkzeug mit einem vernetzten Plasmagenerator ausgestattet, der flächendeckend ein einheitliches Plasma erzeugt. Dieses Hochleistungsplasma ermöglicht eine verbesserte Abscheidungssteuerung mit hoher Dichte, so dass Benutzer Schichten mit erhöhter Homogenität herstellen können. Darüber hinaus reduziert die hochpräzise Steuerung der Anlage das Auftreten von Partikeln und möglichen Defekten während des Abscheidungsprozesses. Das Modell verfügt über eine Multizielkonfiguration, die es ermöglicht, eine Vielzahl von Materialien auf einem einzelnen Wafer zu verarbeiten. Dies bedeutet, dass Benutzer verschiedene Arten von Schichten erstellen und verschiedene Arten von Konfigurationen in einem einzigen Gerät machen können. Das System ist auch in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, einschließlich Metalle, Oxide und Halbleiter. Darüber hinaus ist das Gerät mit mehreren Sicherheitsmerkmalen wie einem automatischen Absperrmechanismus ausgestattet, der die Maschine im Notfall abschaltet. Darüber hinaus kann das Tool aus der Ferne überwacht werden, sodass Benutzer die Leistung des Assets aus ihrem eigenen Büro heraus im Auge behalten können. ULVAC EI-5 ist ein benutzerfreundliches und zuverlässiges Sputtermodell mit mehreren fortschrittlichen Prozessen und Designs, um eine hocheffiziente und qualitativ hochwertige Abscheideleistung zu bieten. Diese Geräte können für eine breite Palette von Forschungs-, Entwicklungs-, Produktions- und Reparaturprozessen eingesetzt werden. Mit seiner beeindruckenden Präzision, Multizielkonfiguration und Sicherheitsfunktionen ist EI-5 ein ideales Sputtersystem für jede Anwendung.
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