Gebraucht ULVAC ei-6 #293758600 zu verkaufen

ULVAC ei-6 ist eine Sputteranlage, die in vielen industriellen und wissenschaftlichen Labors für Dünnschichtabscheidung weit verbreitet ist. Es ist ein fortschrittliches und wirtschaftliches Sputtersystem, mit einem kompakten Design. Es eignet sich besonders zur Dünnschichtabscheidung auf Halbleiter-, Display- und Solarzellen. Ei-6 verfügt über ein innovatives Design, das es ermöglicht, eine hohe Leistungsdichte auf kleinstem Raum zu erreichen und gleichzeitig die Prozessgleichförmigkeit zu maximieren. Die Einheit umfasst ein kreisförmiges Target mit 6 "Durchmesser, einen 6-Taschen-HF-Generator mit 4 Gleichstromquellen, einen Ultrahochgeschwindigkeitsimpulsregler, einen Gasmassenstromregler und ein Vakuumfutter. Die Maschine ist in der Lage, reaktive und nicht-reaktive Sputterprozesse mit einem breiten Spektrum von Zielmaterialien durchzuführen. ULVAC ei-6 stotterndes Werkzeug wird für die hohe Geschwindigkeit dünne Filmabsetzung entworfen, die den Reihenvakuumvermögenswert verwertet. Der Sputtervorgang wird in einer Vakuumkammer mit sequentieller Kathodendrehung und HF-Leistungsregelung durchgeführt. Die Stromversorgungs- und Steuerungskomponenten sind in das Modell integriert, wodurch externe Controller oder Netzteile entfallen. Dies erhöht die Prozessstabilität und erhöht die Effizienz. Der Ultrahochgeschwindigkeitsimpulsregler ermöglicht es dem Sputterprozess, in kürzester Zeit von niedriger auf hohe Leistung umzuschalten. Dies ermöglicht eine dicke Filmabscheidung in wesentlich kürzerer Zeit als herkömmliche Sputtersysteme. Der 6-Taschen-HF-Generator kann bis zu 3 kW Leistung an das Ziel liefern. Die Pulsdauer ist einstellbar, was eine optimierte Prozessentwicklung ermöglicht. Das zweistufige Hochtemperatur-Vakuumfutter ermöglicht eine schnelle Erwärmung und Kühlung des Substrats und ermöglicht eine gleichmäßige großflächige Abscheidung von Schichten. Schließlich bietet ei-6 Sputtergeräte eine breite Palette von Prozessoptionen. Darüber hinaus ist die einfache Bedienung in Kombination mit einem intuitiven Softwaredesign ideal für Start-up-Labore und Filmentwickler. Dieses Sputtersystem bietet eine zuverlässige und vielseitige Lösung für die Dünnschichtabscheidung.