Gebraucht ULVAC EI-7K #293587277 zu verkaufen

ULVAC EI-7K ist eine Sputteranlage zur Dünnschichtabscheidung von Materialien. Es wird von ULVAC Technologies, Inc., einem auf Vakuumtechnologie spezialisierten Unternehmen, hergestellt und verwendet sein eigenes innovatives Verfahren, die EI-Technologie (unten erwähnt). Dieses System ist für die hocheffiziente Abscheidung konzipiert und kann mit einer Vielzahl von Targets verwendet werden, einschließlich solchen aus Oxid, Nitrid, Oxynitrid, Metallen und Legierungen und Siliziden. Die EI-Technologie verwendet eine eigene Ionenquelle, die das Sputtergas innerhalb der Kammer ionisiert. Dies ermöglicht eine hohe Ionendichte bei enger Kontrolle von Energie, Energieausbreitung und Einfallswinkel, was zu einem gleichmäßigen, effizienten Abscheidungsprozess führt, der für eine breite Palette von Materialien geeignet ist. Weitere Merkmale sind zwei Elektronenmultiplizierer zur verbesserten Prozesssteuerung und Ratenoptimierung. Darüber hinaus ist das Gerät mit zwei kleinen Monitoren ausgestattet, die die Sputterposition und die Prozesszeit anzeigen und das Prozessmanagement verbessern. ULVAC EI 7 K hat eine 7-Zoll doppelte (doppelte) Drehsputterkammer mit einem minimalen Kammerdruck von 5x10-5 Pa. Es ist mit einem separaten Gaskasten und einer Gasleitung ausgestattet, die eine effiziente Gasnutzung ermöglicht. Die Maschine unterstützt fünf Arten von Zielen: Ziele mit hohem und niedrigem Widerstand; Zahnrad-, Sputter- und Nachfüllziele; und PCD (pulse control distortion) -Ziele. Zur effizienten Filmabscheidung ist die Kammer auch mit einem leistungsstarken Magnetfeldgenerator ausgestattet, der die Richtung des Magnetfeldes steuern kann. Zur präzisen Steuerung der Ionenquellenparameter steht HF-Plasma zur Verfügung. EI-7K hat auch eine maximale Wafergröße und -temperatur von 300mm bzw. 400 ° C. Schließlich ist EI 7 K Sputterwerkzeug eine ausgezeichnete Wahl für hocheffiziente Abscheidung von verschiedenen Materialien. Es ist effizient, präzise und hochflexibel. Es kommt mit einer Reihe von Funktionen speziell entwickelt, um die Filmabscheidung einfacher und präziser zu machen. Aus diesen Gründen ist es eine ausgezeichnete Wahl für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen.