Gebraucht ULVAC EI-7K #9402606 zu verkaufen

ULVAC EI-7K ist eine Sputteranlage für den Einsatz in Dünnschichtabscheidungsprozessen. Es ist sowohl in der Lage, hohe Präzision und große Substratverarbeitung, mit einer gleichmäßigen Abscheidungsrate über große Flächen. Es verwendet eine einzige Hochstrom-Magnetron-Kathode sowie zwei größere HF-Bias (RFB) -Elektroden, was zu einem größeren Bereich von Abscheideraten führt, von niedriger Leistung bis zum Hochleistungssputtern. ULVAC EI 7 K ist auch mit einer variablen Frequenz-Stromversorgung ausgestattet, die die Steuerung der Abscheiderate ermöglicht, für den Einsatz in verschiedenen Sputterprozessen. Neben der RFB- und Magnetronkathode verfügt EI-7K über einen leistungsstarken Ionenstrahl zum Ätzen und zur Oberflächenmodifizierung. Dieser Ionenstrahl hilft, gleichmäßige Dünnschichtabscheidungsraten und eine hochwertige Oberflächengüte zu erzeugen. EI 7 K bietet auch eine Vielzahl von Prozessmodi, darunter: Sputtern mit hoher Leistung, Sputtern mit geringer Leistung, Sputtern mit mehreren Stapeln und ionenstrahlgestützte Abscheidung (IBAD). Die Sputterkammer von ULVAC EI-7K ist so konzipiert, dass sie große Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 600 mm aufnehmen kann. Es ist auch in der Lage, viele Arten von Substraten zu akzeptieren, einschließlich: Quarz, Siliziumdioxid, Aluminiumoxid und Galliumnitrid. Die Kammer hat eine zylindrische Konstruktion mit einem Top-Load-System und wurde entwickelt, um Kosten zu reduzieren und die Effizienz zu verbessern, indem die manuelle Dosierung entfällt. ULVAC EI 7 K verfügt zudem über eine unabhängige Temperiereinheit, die eine Temperaturregelung innerhalb von Prozessparametern ermöglicht. EI-7K Sputtermaschine ist ein fortschrittliches Werkzeug für Dünnschichtabscheidung und Ätzen. Es verfügt über eine breite Palette von Prozessfähigkeiten und Funktionen, von geringer Leistung bis Hochleistungssputtern, sowie eine Reihe von Substrattypen. Sein leistungsstarker Ionenstrahl trägt zu gleichmäßiger Dünnschichtabscheidung und einer hochwertigen Oberflächengüte bei. Seine zylindrische Konstruktion, mit einem Top-Load-Tool, hilft, Kosten zu reduzieren und die Effizienz zu verbessern. Schließlich hilft seine unabhängige Temperaturkontrolle dabei, Prozesse innerhalb von Parametern zu halten. EI 7 K ist ein ideales Werkzeug für Dünnschichtabscheidungs- und Ätzprozesse.