Gebraucht ULVAC ei-7L #9236127 zu verkaufen

ULVAC ei-7L
Hersteller
ULVAC
Modell
ei-7L
ID: 9236127
Evaporator.
ULVAC ei-7L ist eine Sputteranlage, die von ULVAC Inc., einem multinationalen Unternehmen, das sich auf Vakuumwissenschaft und Technologie spezialisiert hat, hergestellt wird. ULVAC EI-7 L verwendet ein Magnetron-Sputterverfahren, um dünne Filme auf einem Substrat wie Siliziumscheiben, Quarzkristall, Keramik oder Glas abzuscheiden. Es verwendet hochfrequente Wechselstromversorgung, um ein Tieftemperaturplasma zu erzeugen, das dann verwendet wird, um dünne Filme auf dem Substrat abzuscheiden. Dieser Sputtervorgang kann mit linearen oder drehbaren planaren Targets durchgeführt werden. Ei-7L verfügt über eine maximale DC-Sputterleistung bis 5kW und eine maximale Wechselstromleistung von bis zu 3kW. Sie kann in einem weiten Bereich von Kammerdrücken vom Ultrahochvakuum bis zur Atmosphäre arbeiten. Es verfügt über eine innere Kammergröße, die einen 4-Zoll-Wafer bis zu einem 8-Zoll-Wafer passen kann. Die Prozesstemperatur kann bis 400 ° C gehalten werden. Es ist auch mit einer automatischen Drucksteuerung ausgestattet, die den Druck in der Kammer überwachen und einstellen und auf dem gewünschten Niveau halten kann. EI-7 L ist mit einem ausgeklügelten Roboterarm gebaut, der es dem Substrat und den Zielen ermöglicht, sich innerhalb der Kammer frei zu bewegen und zu drehen. Es ist weit verbreitet für die Abscheidung von dünnen Materialien auf Substraten wie Metalle, Halbleiter, Isolatoren, Polymere und andere. Der Sputterprozess kann für eine breite Palette von Anwendungen verwendet werden, einschließlich Flachbildschirme, Solarzellen, LED und vieles mehr. ULVAC ei-7L verfügt über eine erweiterte HF-Anpassungseinheit, die der Impedanz zwischen der Stromversorgung und der Sputterkammer entspricht. Es ist auch mit einer ausgeklügelten Kühlmaschine ausgestattet, die die Temperatur der Kammer während des Zerstäubungsprozesses hält. Sein erweitertes Steuerungstool ermöglicht es Benutzern, die Prozessparameter wie Zeit, Leistung, Spannung und Druck zu überwachen und zu steuern. ULVAC EI-7 L ist eine vielseitige Sputteranlage, die eine breite Palette von Materialien und Substraten zerstäuben kann. Es hat die Fähigkeit, dünne Filme mit hoher Geschwindigkeit auch mit einer geringen Menge an Material abzuscheiden. Mit seiner hohen Kompatibilität und seinen ausgeklügelten Steuerungssystemen ist ei-7L eine gute Wahl für zuverlässige und hochwertige Dünnschichten.
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