Gebraucht ULVAC ei-7L #9275223 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
ei-7L
ID: 9275223
Evaporator.
Die Sputteranlage ULVAC ei-7L ist ein multifunktionales Werkzeug zum Abscheiden dünner Filme auf verschiedenen Substraten. Es nutzt reaktives Magnetron-Sputtern und ist in der Lage, intelligente Prozesssteuerung und Optimierung. Die feingelenkige Automatisierung ermöglicht ein gleichmäßiges und präzises Aufbringen von dünnen Schichten auf dem Wafer oder Substrat aus einer Vielzahl komplexer elektronischer Geräte. Der modulare Aufbau ermöglicht eine einheitliche und optimierte Verarbeitung und ermöglicht eine effiziente Integration in den Produktionslinien-Workflow. ULVAC EI-7 L verfügt über ein flexibles Kammerdesign, das verschiedene Peripherie- und Prozessanlagen aufnehmen kann und verschiedene Substratgrößen und Filmabscheidungsprozesse ermöglicht. Das System ist für den einfachen Austausch von Sputterzielen für schnelle Prozessänderungen konzipiert. Ei-7L verfügt über eine aktive Magnetfeldsputterquelle, die auch bei hohen Substrattemperaturen eine präzise und gleichmäßige Elektronenbeschießung ermöglicht. Dadurch wird eine optimale Haftung des dünnen Films auf der Substratoberfläche gewährleistet. Seine fortschrittliche Reaktionsabgabeeinheit beseitigt Verschmutzung und verhindert elektrische Leckagen. Es verfügt auch über eine eingebaute Abgasmaschine und Kühlwerkzeug für den gleichzeitigen Betrieb und effiziente Wärmemanagement. Darüber hinaus kann EI-7 L für den Einsatz in niedertemperatur-, umweltfreundlichen Prozessen angepasst werden und ist in der Lage, in mittleren bis hohen Vakuumniveaus zu arbeiten. Die Sputteranlage ist für einfache Bedienung, manuelle Bedienung und einfache Wartung konstruiert. Es verfügt über ein integriertes Softwaremodell mit Optionen für automatisierte Datenintegration und grafische Echtzeit-Prozesssteuerung. Das Gerät ist in der Lage, qualitativ hochwertige, wiederholbare Ergebnisse mit minimalem Abfall zu erzielen. Der geringe Stromverbrauch senkt die Betriebskosten und ermöglicht eine schnelle und einfache Neukonfiguration und Wartung. ULVAC ei-7L hat auch eine One-Touch-Kalibrierung und verhindert Funken oder statische Stöße bei der Abscheidung, was die Sicherheit des Bedieners erhöht. Insgesamt ist ULVAC EI-7 L ein leistungsfähiges und vielseitiges Sputtersystem, das zuverlässig, sicher und energieeffizient ist. Es verfügt über mehrere erweiterte Funktionen, die eine konsistente und präzise Abscheidung gewährleisten, und sein modularer Aufbau ermöglicht eine einfache Anpassung für verschiedene Dünnschichtabscheidungsprozesse. Das Gerät eignet sich für eine Vielzahl von Produktionslinien und bietet eine hervorragende Leistung und ist somit eine ideale Wahl für Dünnschichtabscheidungsprozesse.
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