Gebraucht ULVAC Entron EX 300 #293770989 zu verkaufen
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ID: 293770989
Weinlese: 2007
Sputtering system
(8) Chambers
(3) MPD Racks
(3) Pallets
Transfer module:
Tandem core (FX & RX)
Transfer robot
Process module:
FX:
F1
F2
F3
F4
RX:
R1
R2
R3
R4
EFEM
Chiller
Compressor
Control monitor
PC
2007 vintage.
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