Gebraucht ULVAC Entron EX W200S #9266623 zu verkaufen
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ID: 9266623
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2006
Sputtering system, 8"
SiO2, TiO2
2SP Chamber
2006 vintage.
ULVAC Entron EX W200S ist eine leistungsstarke Sputterausrüstung für eine Vielzahl von Anwendungen. Es ist ideal für Filmabscheidung, Ätzen, Mustern und andere Dünnschichtanwendungen. Dieses System verfügt über eine fortschrittliche turbomolekulare Pumpeinheit, um eine ausgezeichnete Vakuumumgebung mit ausgezeichneter Vakuumstabilität und Zuverlässigkeit zu liefern. Entron EX W200S verwendet eine Kammer mit einer 4-dimensionalen Bewegungsfähigkeit, die eine präzise Probenmanipulation ermöglicht. Es hat eine drehbare Substratstufe sowie ein kippbares Sputter-Target um bestimmte Grad, so dass sich Benutzer in einem breiten Bereich von Winkeln ablegen können, um die Abscheidungsqualität zu verbessern. Die hohe Präzision der Bewegung wird durch die berührungslose, nichtmagnetische, nichtkommutative, laseroptische Interferometer gesteuerte Basispositionierung gewährleistet. ULVAC Entron EX W200S ist kompatibel mit einer breiten Palette von Materialien wie Aluminium, Nickel, Chrom, Titan, Zink, Gold, Silber und Legierungen. Es ist in der Lage, 6 Magnetronquellen mit einer gepulsten Stromquelle zu steuern, die ein elementares Material oder ein Material mit Zielmaterial sputtern kann, um die Gleichmäßigkeit der Dünnschicht zu erhöhen. Weiterhin hilft die Ionenstrahlquelle, den abgeschiedenen Dünnfilm zu glätten und die Haftung auf dem Substrat zu erhöhen. Der Sputterprozess wurde durch die bordeigene Prozessmanagementsoftware mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche weitgehend automatisiert. Es ist in der Lage, komplexe mehrstufige Sputterprozesse mit zuverlässiger Wiederholbarkeit durchzuführen. Diese Maschine hat auch eine breite Palette von Prozessüberwachungsoptionen, wie Substrate Temperatur, Druck, Strom, Spannung, etc. Schließlich gewährleistet die Verwendung eines Echtzeit-Online-Interlock-Tools einen sicheren Betrieb des Assets. Abschließend ist Entron EX W200S ein leistungsstarkes und präzises Sputtermodell, das Anwendern zuverlässige Dünnschichtabscheidungs- und Ätzergebnisse bietet. Es ist perfekt für alle Labore, die eine hohe Zuverlässigkeit und hervorragende Ergebnisse erfordern.
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