Gebraucht ULVAC Entron EX W300 #9211053 zu verkaufen

Das Sputtergerät ULVAC Entron EX W300 ist ein robustes, multifunktionales Sputterwerkzeug, das sich ideal für eine Vielzahl von Anwendungen eignet. Die W300 bietet sowohl Argon und Sauerstoff (oder andere reaktive Gas) Sputtern mit bis zu vier Kanonen arbeiten gleichzeitig mit Kontrolle so fein wie 1-Tausendstel Millimeter Präzision für Merkmalsgröße. Die Hochvakuumkammer kann zwei Wafer oder bis zu 4 Zoll runde Substrate und eine Nennbeschleunigungsspannung von 500 Volt aufnehmen. Das Gerät nutzt eine Magnetron Sputterquelle mit einer Leistung von 300 Watt für Ar Sputtern oder 600 Watt für den Einsatz mit reaktiven Gasen. Das W300 ist auf Robustheit und Zuverlässigkeit in einer Reihe von Vakuum- und Sputterumgebungen ausgelegt, einschließlich Forschung und Entwicklung, Kleinserienproduktion und Erstbewertung neuer Materialien. Das leistungsstarke System bietet auch eine fortschrittliche Leistungseinstellung mit lokaler Pulssteuerung, die eine vollständige Kontrolle der Prozessparameter ermöglicht. Das W300 ermöglicht es Anwendern, gleichzeitig Materialabscheidung und Oberflächenbearbeitung durchzuführen, was einen höheren Probendurchsatz und eine höhere Flexibilität ermöglicht. Neben der Gewährleistung der Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit verfügt die W300 auch über integrierte thermische Halbleiterverarbeitungsfunktionen. Das Gerät verwendet eine Mehrzonen-Quarz-Infrarotlampe mit beheizten Heizkörpern, die eine optimale Heiztemperatur von bis zu 800 ° C für temperaturempfindliche Prozessoperationen bietet. Eine fortschrittliche sechsachsige Robotermaschine schafft mehrstufige, mehrspurige Bearbeitungsrouten mit präziser Navigation und wiederholbarer Genauigkeit, die Prozesse wie Oxidfilmabtragung und Schichtdünnschichtabscheidung optimieren. Schließlich verfügt das W300 über eine intuitive Benutzeroberfläche, die es Anwendern ermöglicht, sich schnell an das Werkzeug anzupassen und durch die Echtzeit-, Datenzirkularisierung und grafische Anzeige informiert zu bleiben. Eingebaute Sicherheits- und Überwachungssysteme schützen Benutzer durch automatische Überwachung von Asset-Daten und Schutz vor Störungsszenarien. Insgesamt ist ULVAC ENTRON-EX W300 ein leistungsstarkes und zuverlässiges Sputtermodell, das für eine breite Palette von Materialbearbeitungsanforderungen an Substrate entwickelt wurde.