Gebraucht ULVAC Entron EX W300 #9212275 zu verkaufen

ULVAC Entron EX W300
Hersteller
ULVAC
Modell
Entron EX W300
ID: 9212275
Wafergröße: 12"
PVD Systems, 12".
ULVAC Entron EX W300 ist eine hochleistungsfähige, hochmoderne Sputteranlage für eine Vielzahl von Anwendungen. Das System ist in der Lage, dünne, einheitliche Filme mit ausgezeichneter Schrittabdeckung zu produzieren, was es zu einer idealen Wahl für die Herstellung elektronischer und optischer Komponenten macht. ULVAC ENTRON-EX W300 verfügt über eine Multi-Referenz-Vakuumkammer mit variabler Spurverarbeitung von bis zu acht Targets. Seine fortschrittlichen Pumpstationen umfassen eine praktisch ölfreie, zweistufige Turbomolekularpumpe, die ein effizientes Pumpen der Kammer bis auf ein Druckniveau von bis zu 10-5 mbar gewährleistet. Darüber hinaus enthält das Gerät eine Absoprtionssäule, die Kohlenwasserstoffverunreinigungen aus der Kammer entfernt und eine erhöhte Langzeitleistung und Zuverlässigkeit ermöglicht. Die Maschine verfügt außerdem über ein integriertes HF-Vorspannungsnetzteil für fortschrittliche Folienzusammensetzung und zur Optimierung der Sputterabscheidungsrate. Dies geschieht durch Verwendung der mit mehreren Kammerdrücken gekoppelten HF-Vorspannung, die eine aufwendige Steuerung von Folienabscheidungsparametern ermöglicht. Das Sputternetzteil kann schnell verschiedene Anodenspannungsgrade erreichen und bietet „negative Sputterfunktionen“, mit denen elektrisch leitfähige Schichten auf Probensubstraten abgeschieden werden können. ENTRON EX W 300 bietet Platz für zahlreiche Substratgrößen und Materialien, von ultradünnen Substraten bis hin zu solchen mit viel größeren Abmessungen. Durch den effektiven modularen Schnellwechsel in das Werkzeug können verschiedene Quellen schnell ohne Neukalibrierung gewechselt werden. Diese Funktion eliminiert Ausfallzeiten und sorgt für maximale Produktivität der Anlagen. Schließlich verfügt ULVAC ENTRON EX W 300 über ein benutzerfreundliches Konsolenmodell mit einer intuitiven, vollgrafischen Benutzeroberfläche. Dies ermöglicht eine einfache Bedienbarkeit und Interpretation von Steuerwerten, um Korrekturmaßnahmen einzustellen oder zu ergreifen. Fertige Produkte sind mit hoher Zuverlässigkeit und ausgezeichneten Materialeigenschaften wie genaue Foliendicke, Reinheit und gute Haftung gekennzeichnet. Damit ist ENTRON EX W300 das ideale Werkzeug für die Herstellung von Dünnschichtbeschichtungen.
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