Gebraucht ULVAC Entron EX W300 #9275306 zu verkaufen

ULVAC Entron EX W300
Hersteller
ULVAC
Modell
Entron EX W300
ID: 9275306
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
System, 12" EFEM MF (2) PVD PC Parts and racks 2011 vintage
ULVAC Entron EX W300 ist eine leistungsstarke, kompakte Sputteranlage für Materialverarbeitungsanwendungen. Das System bietet verbesserte Produktivität, Zuverlässigkeit und Präzision für Abscheide- und Präzisionsbeschichtungsanwendungen. Es verfügt über eine fortschrittliche Magnetronkathode, die eine gleichmäßige und konsistente Energiequelle für gleichmäßige und gleichmäßige Filmabscheidung bietet. ULVAC ENTRON-EX W300 ist mit einem In-situ-Substrat-Heizmechanismus, einer Mehrzonen-Lastverschlusskammer und einer rückseitigen Ionisationskammer ausgestattet, um eine hohe Folienqualität zu ermöglichen. ENTRON EX W 300 verfügt über eine expansive Sputterkammer, die den Prozessdurchsatz erhöht und bei einer Schrittweite von 4 Zoll erhöhte Substratkapazitäten ermöglicht. Das Gerät verwendet eine hocheffiziente zweistufige Kühlmaschine für die Sputterkathode, um optimale Kathodentemperaturen und Langzeitnutzung zu gewährleisten. Das Werkzeug ist mit einer Hochvakuum-Sputtergasquelle mit Anschlüssen an eine Vakuumpumpe und einer direkten Zuführung von Sputtergas ausgestattet, die zwischen der Kammer und dem Lastschloß austauscht. Darüber hinaus bietet die Anlage ein Niederdrucksputterverfahren zur Abscheidung auf nicht leitfähigen Substraten. Für eine verbesserte Abscheidungsqualität verfügt das Modell über einen Drehtisch für Substrate, mit dem komplexe Filmarchitekturen verarbeitet werden können. Es umfasst das automatische Be- und Entladen von Substraten mit einer Peltier-Can-Ausrüstung und ist mit einem Mehrzonen-Gasspülsystem ausgestattet, um eine saubere Umgebung innerhalb der Einheit zu erhalten und die Substrat-Plasma-Schnittstelle zu steuern. Darüber hinaus ist ULVAC ENTRON EX W 300 in ein proprietäres Softwarepaket integriert, das Fernsteuerungszugriff auf die Maschine bietet und eine einfache Bedienung und Prozessüberwachung bietet. ENTRON EX W300 bietet überlegene Filmabscheidung und Kontrolle für mehrere Sputterabscheidungsanwendungen und ist mit langlebigen Materialien gebaut, was es zu einem agilen und dennoch robusten Sputterwerkzeug macht. Diese Sputteranlage ist eine ideale Wahl für Branchen wie Automobil, Luft- und Raumfahrt, Elektronik, Biomedizin und Optik.
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