Gebraucht ULVAC Entron EX W300 #9282018 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
Entron EX W300
ID: 9282018
Wafergröße: 12"
PVD System, 12" 2011 vintage.
ULVAC Entron EX W300 ist eine parallele magnetronbasierte Sputteranlage für Präzisionsbeschichtungsprozesse und einheitliche Dünnschichtanwendungen. Dieses großflächige Parallelsputtersystem verfügt über ein Multi-Precursor, ein-simultanes Sputterverfahren für verbesserte Beschichtungsqualität und gleichmäßige Abscheidung über weite Wafer. ULVAC ENTRON-EX W300 besteht aus einer integrierten Lastschloßkammer, einer Verarbeitungskammer und unabhängigen Stromversorgungen für jede Sputterquelle. Die W300 Maschine kann durch ihr einzigartiges Design, das mehrere Substrathalter in einer einzigen Kammer umfasst, eine sehr hohe Gleichmäßigkeit erreichen. Auf diese Weise kann ein einziger Sputterlauf großflächig einheitliche Dünnschichtbeschichtungen wie 150mm-Wafer erzeugen. Das Werkzeug verfügt über eine direkte Diode Bias Stromversorgung für genaue Kontrolle und präzise Genauigkeit Prozessergebnisse zu optimieren. Darüber hinaus verfügt das W300 über eine vertikale Lastschloßkammer-Konstruktion, die dazu beiträgt, Kontaminationsprobleme zu beseitigen. Die Kombination eines leistungsstarken DC/RF-Netzteils mit zwei Quellen und zwei Modulen ermöglicht eine verbesserte Dünnschichtgleichförmigkeit und einen nicht abgeschatteten Teil des Modells. ENTRON EX W 300 verfügt zudem über eine robuste Vakuumausrüstung, die bei der Herstellung von Hochaktivitätsfolien hilft, die ihre Lebensdauer und Zuverlässigkeit erhöhen. Die hochdynamische Prozesssteuerung macht es auch zu einer idealen Wahl für hochpräzise Beschichtungsprozesse. Dieses System eignet sich auch gut zur Herstellung optischer Dünnfilmbeschichtungen wie Antireflexions- und Hochreflexionsbeschichtungen. ENTRON EX W300 ist kompatibel mit verschiedenen Substraten, die Metalle, Glas und Keramik umfassen. ULVAC ENTRON EX W 300 ist eine ideale Beschichtungseinheit zur Herstellung von Dünnschichtbeschichtungen für verschiedenste Anwendungen. Seine robuste Bauweise und hohe Präzision machen es für Präzisionsbeschichtungsprozesse und einheitliche Dünnschichtanwendungen geeignet. Die Maschine eignet sich auch gut für optische Dünnschichtbeschichtungen und ist mit einer Vielzahl von Substraten kompatibel.
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