Gebraucht ULVAC Entron EX W300 #9353969 zu verkaufen
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ID: 9353969
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Sputtering system, 12"
Load module:
Load port
Robot arm
Transfer module: (2) Robot arms
Process module: (8) Chambers
Utility:
AC Rack
Pump rack
DC Power supply rack
Heater rack
2007 vintage.
ULVAC Entron EX W300 Sputterausrüstung ist ein fortschrittliches physikalisches Bedampfungssystem (PVD), das speziell für die Abscheidung von Metallen, Legierungen, Dielektrika und anderen Materialien auf Substraten optimiert ist. Das Gerät eignet sich ideal für die Herstellung von Dünnschichten für eine Vielzahl von Anwendungen von Solarzellen bis hin zu optoelektronischen Komponenten. Die Maschinenkonfiguration von ULVAC ENTRON-EX W300 umfasst eine Basiseinheit mit zwei unabhängigen Vakuumkammern und einem Lastverriegelungsmechanismus. Dies ermöglicht die gleichzeitige Verarbeitung von bis zu zwei Substratgrößen. Der direktantriebene Motorantrieb ist in der Lage, eine präzise und wiederholbare Abscheidung verschiedener Materialien und Oberflächenbearbeitungen mit gleichbleibend wiederholbaren Ergebnissen zu ermöglichen. ENTRON EX W 300 ist mit einem im Feld erprobten Sputterwerkzeug „PowerWave“ von ULVAC ausgestattet. Dies ermöglicht die selektive Abscheidung zweier unterschiedlicher Materialien mit unabhängigen Leistungseinstellungen in einem einzigen Abscheidezyklus. Die Anlage ist außerdem mit vier Kathoden in jeder Vakuumkammer ausgestattet, wodurch bis zu vier Materialien gleichzeitig gesputtert werden können. ENTRON-EX W300 ist darüber hinaus mit einer breiten Palette von Probenhaltern und Vorrichtungen für die Aufnahme verschiedener Arten von Proben und Substraten ausgestattet. Diese ermöglichen eine präzise und wiederholbare Positionierung der Substrate während des Abscheideprozesses. Dadurch wird die gleichmäßige Deckung der Folien über die gesamte Oberfläche gewährleistet. Entron EX W300 ist zudem mit fortschrittlichen Steuerungssystemen ausgestattet, darunter ein integriertes Prozessbedienfeld und eine aktuelle SPS-Touchscreen-Steuerung. Dies ermöglicht eine benutzerfreundliche, automatisierte Steuerung des gesamten Sputterprozesses. Zusätzlich kann das Modell an eine Vielzahl weiterer Systeme zur Datenerfassung und Bedienerführung angeschlossen werden. Insgesamt ist ENTRON EX W300 ideal für präzise und qualitativ hochwertige dünne Folien mit einer Vielzahl von Materialien. Seine automatisierte Steuerung, präzise Abscheidung und fortschrittliche Vorrichtungsausrüstung ermöglichen einheitliche Abdeckungsraten und wiederholbares Sputtern verschiedener Materialien in einem einzigen Abscheidezyklus. ULVAC ENTRON EX W 300 ist ein zuverlässiges, kostengünstiges und leistungsstarkes Sputtersystem, das sich ideal für eine Reihe von Dünnschichtanwendungen eignet.
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