Gebraucht ULVAC Entron EX W300 #9381852 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
Entron EX W300
ID: 9381852
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
PVD Sputtering system, 12" AC Rack Pump rack DC Power supply rack Heater rack Does not include Hard Disk Drive (HDD) Transfer module: (2) Robot arms (8) Chambers with pump Multi-chamber process: Metal ITO Furnace Load module: Load port Robot arm 2007 vintage.
ULVAC Entron EX W300 ist eine Sputteranlage zur Herstellung von dünnen Filmen durch physikalische Aufdampfung. ULVAC ENTRON-EX W300 ist ein kompaktes Desktop-Sputtersystem, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien für dielektrische, Metall- und Widerstandsschichtstrukturen abzuscheiden, die sowohl für Halbleiter- als auch für Dünnschichtabscheidungsanwendungen entwickelt wurden. Die Sputtereinheit kann Zielmaterialien sputtern, darunter Aluminium, Gold, Tantal, Platin, Aluminiumoxid und Siliziumdioxid. ENTRON EX W 300 ist für die einfache Integration in manuelle oder automatisierte Produktionslinien konzipiert, die einen geringen Platzbedarf und einen niedrigen Schwerpunkt aufweisen. Darüber hinaus bietet die optisch klare Quarzansicht einen freien Blick auf das Zielmaterial und das Substrat, ohne dass eine bewegliche Tür erforderlich ist. Es verwendet einen einzigartigen patentierten magnetfreien einachsigen DC-Sputter, um Wartung und Gasverbrauch zu minimieren, sowie einen patentierten Schnellwechselsputtereinsatz, um ein schnelles Umschalten von Zielmaterialien zu ermöglichen. Die Vakuumkammer der Maschine verfügt über ein Niederdruckdiagramm und einen magnetischen Frontfilter zur Verringerung des Staubspiegels. Das Werkzeug ist aufgrund eines patentierten Sicherheitsverschlusses und einer Vielzahl von Auto Shut Asset Steuerungsoptionen in der Lage, Schichten gleichmäßiger Dicke und Zusammensetzung zu erzeugen. Das Auto Shut Modell ermöglicht benutzerdefinierte Zielleistung, Zielposition und Kühlzeit beim Abscheiden von Schichten verschiedener Dicken. ULVAC ENTRON EX W300 verfügt über die neueste PECVD-Technologie (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), die eine hochdichte Pin-Point-Abscheidung ermöglicht. Schließlich bietet Entron EX W300 die neueste Software-Überwachung und Diagnoseüberwachung, um einen reibungslosen Betrieb sowie die höchste Qualität der Dünnschichtabscheidung zu gewährleisten.
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