Gebraucht ULVAC Entron EX #9195690 zu verkaufen

ULVAC Entron EX
Hersteller
ULVAC
Modell
Entron EX
ID: 9195690
Wafergröße: 12"
PVD System, 12".
ULVAC Entron EX ist eine Sputterausrüstung, die für Anwendungen aus verschiedenen dünnen Materialien entwickelt wurde. Es bietet eine schnelle, präzise und qualitativ hochwertige Sputterabscheidung mit hoher Reproduzierbarkeit. ULVAC ENTRON-EX System besteht aus zwei Komponenten: einer AC-Sputterquelle und einer DC-Sputterquelle. Die AC-Sputterquelle wird zur Abscheidung von Metallen und anorganischen Verbindungen sowie einigen oxidischen Dünnschichten verwendet. Die DC-Sputterquelle wird zur Abscheidung einer Vielzahl von Metallen, Legierungen und IC-Widerstandsfolien verwendet. Das Gerät verwendet eine All-in-One-Art von planaren Magnetron-Sputterkonfiguration, mit der zwei Sputterquellen gleichzeitig verwendet werden können. Diese Sputterkonfiguration ermöglicht Hochleistungssputtern durch Dual-Direction-Magnetron-Sputtern. Das von den Magneten erzeugte Magnetfeld und der Aufbau der Maschine führt zu einer hohen Abscheiderate auf der Zieloberfläche. Das Werkzeug ist ferner mit einem Autokompensator ausgestattet, der eine Einstellung der Stromquellenspannung entsprechend der Zielflächengröße vorsah. Diese Funktion hilft, die Kontamination der Zieloberfläche zu verhindern und erhöht die Produktivität des Vermögenswertes durch die Reduzierung von Abfallstoffen durch die automatische Anpassung der Stromquellenspannung. Zusätzlich kann das Modell auf unterschiedliche Stromquellenspannungen entsprechend dem Zielmaterial eingestellt werden, was bei der Abscheidung verschiedener dünner Filme hilfreich ist. Dieses Gerät bietet eine Vielzahl von Funktionen, die die Benutzerfreundlichkeit beim Betrieb der Plattform erhöhen. Es ist eine hohe Automatisierung mit Echtzeit-Anzeige von Vakuumbedingungen, Systemstatus und anderen wichtigen Informationen. Es bietet auch eine Vielzahl von Betriebsarten, die eine hohe Flexibilität in Abhängigkeit von den aktuellen Anforderungen ermöglichen. Darüber hinaus verfügt es über eine Inertgasversorgungseinheit, die bei Bedarf eine effiziente Sputterprozesssteuerung ermöglicht. Insgesamt ist Entron EX eine innovative Sputtereinheit, die eine effiziente und zuverlässige Abscheidung von dünnen Folien für verschiedene Anwendungen ermöglicht. Die hochpräzise und qualitativ hochwertige Sputterabscheidung sowie die zusätzlichen Funktionen machen ENTRON-EX zu einer idealen Plattform zum Abscheiden von dünnen Folien.
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