Gebraucht ULVAC Entron #9038422 zu verkaufen

ULVAC Entron
Hersteller
ULVAC
Modell
Entron
ID: 9038422
Physical vapor deposition system, 8".
ULVAC Entron ist eine High-End-Sputterausrüstung zum Sputtern dünner Filme. Es ist ein gut entwickeltes Werkzeug zum Sputtern von Dünnschichtschichten, das für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden kann, einschließlich Halbleiterproduktion, Dünnschichtforschung und -entwicklung und industrielle Prozesse. Das System basiert auf einer Doppelmagnetron-Konfiguration. Das bedeutet, dass die Magnetrons miteinander „verriegelt“ werden und sich dieselben Sputterbögen teilen. Die Magnetrons erzeugen Sputterbögen mit kontrollierter Strahldivergenz und reduziertem Ionenbeschuss des Substrats. Die gesamte Einheit wird von einer Hochstrom-Gleichstromquelle angetrieben. Entron wurde entwickelt, um einheitliche, qualitativ hochwertige Sputterfolien mit hervorragenden stöchiometrischen Eigenschaften zu liefern. Es ist auch für optimale Abscheideraten und verbesserten Durchsatz ausgelegt. Seine Ultravakuumkammer ist für eine optimale Gleichmäßigkeit der Sputterabscheidung optimiert. ULVAC Entron verfügt über integrierte Flexibilität, die das Abscheiden von Mehrschichtstapeln aus hochwertigen Folien ermöglicht. Es ist auch möglich, Metalle, Legierungen, Dielektrika (z.B. Al2O3 oder SiN4) und Oxidschichten mit guter Elektronentransparenz zu sputtern, was es ideal für den Einsatz in photovoltaischen und elektronischen Anwendungen macht. Entron verfügt über mehrere zusätzliche Funktionen, die es zu einer großen Wahl für die Entwicklung und Produktion von Dünnschichten machen. Es verfügt über mehrere High-End-Funktionen wie präzisionsgesteuerten Filmtransport, erweiterte Druck- und Temperaturüberwachung und automatisierte Endpunkterkennung. Darüber hinaus verfügt ULVAC Entron über eine integrierte fluidische Steuerungsmaschine, die ein effizientes Mischen aktiver Sputtergase unter Beibehaltung eines hohen Grades an Prozesskontrolle ermöglicht. Entron ist zudem mit einem leistungsstarken, robusten Steuerungswerkzeug ausgestattet. Diese Ressource umfasst mehrere Funktionen wie automatisierte Dickenkontrolle von Mehrschichtfolien, Speicherung von Wartungs- und Wartungsdatensätzen, Batch-Verarbeitungsfunktionen und erweiterte Ionenenergie- und Sputterspannungsoptimierung. Dieses Modell ist in hohem Maße in der Lage, Präzisionsprozesse zu steuern, was eine rückkopplungsbasierte Optimierung der Dünnschichtabscheidung ermöglicht. Letztlich ist ULVAC Entron eine hervorragende Lösung für Betreiber, die hochwertige Dünnschichten sputtern möchten. Die Dual-Magnetron-Konfiguration und die präzisionsgesteuerten Funktionen machen es perfekt für Hersteller und Forschungslabore. Seine präzisionsgesteuerte Abscheiderate sorgt dafür, dass Folien von höchster Qualität sind und gleichmäßige und genaue Ergebnisse liefern. Seine Flexibilität ermöglicht die Entwicklung komplexer Mehrschichtstapel und seine vorprogrammierten Funktionen machen Entron zu einer effizienten Lösung für produktionsstarke Auflagen.
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