Gebraucht ULVAC Entron #9150538 zu verkaufen
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ID: 9150538
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Physical vapor deposition system, 12"
Process: Metal
2004 vintage.
ULVAC Entron ist eine fortschrittliche Sputterausrüstung zur Abscheidung von Dünnschichtmaterialien. Das System nutzt Gleichstrom, gepulsten Gleichstrom und gerichtetes Sputtern, um eine Vielzahl von Abscheidungsprozessen in einer Einheit bereitzustellen. Es ist auch für eine präzise Kontrolle über Temperatur, Druck und Gasströme ausgelegt, um eine optimale Filmabscheidung zu gewährleisten. Entron hat eine kompakte Bauweise, die ihm klare Vorteile gegenüber anderen, größeren Sputtersystemen verschafft. Mit seinem geringen Platzbedarf und seiner hohen Leistungsfähigkeit eignet es sich für Forschungs- und Laboranwendungen sowie für die industrielle Produktion. Die Maschine kann mit bis zu vier Energiequellen konfiguriert werden, wobei jede Quelle eine Vielzahl von Leistungsstufen bereitstellen kann. Darüber hinaus können alle Quellen unabhängig oder in Kombination betrieben werden, um eine genaue Kontrolle zu gewährleisten, um eine präzise Abscheidung zu ermöglichen. um einen einheitlichen und dichten Film bereitzustellen. Um eine optimale Folienqualität zu gewährleisten, kann ULVAC Entron mit mehreren Optionen ausgestattet werden, darunter eine Inertgasversorgung, eine Kryopumpe und eine Temperaturregelung. Das Werkzeug ist auch kompatibel mit mehreren Gas- und Tauchpumpen, um den Einsatz von Reaktivgas zu ermöglichen. Entron Asset bietet zudem die höchste Prozessstabilität und die niedrigste Anzahl an Gasleckstellen. Dies gewährleistet eine minimale Kontamination und einen langfristig wiederholbaren Sputterabscheidungsprozess. Darüber hinaus weist das Modell im Vergleich zu anderen Sputtersystemen einen geringen Stromverbrauch auf. ULVAC Entron ist eine vielseitige Ausrüstung für mehrere Anwendungen. Anwendungsbeispiele sind die Abscheidung von Dielektrika, Metallen, Keramiken oder auch transparenten leitfähigen Materialien. Darüber hinaus bietet es eine hohe Wiederholbarkeit und Genauigkeit bei Dünnschichtabscheidung. Angesichts all dieser Vorteile ist Entron eine gute Wahl für kleine und große Sputterabscheidungsprojekte, die zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse erfordern.
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