Gebraucht ULVAC Entron #9235259 zu verkaufen
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ID: 9235259
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Physical vapor deposition systems, 12"
Process: Metal
2010 vintage.
ULVAC Entron ist eine hochmoderne Sputteranlage, mit der dünne Materialfolien in einer Vielzahl von industriellen Anwendungen abgelegt werden. Das System nutzt eine High-End-Vakuumkammer, die Basisdrücke von 1x10-3 Pa erreichen kann, so dass eine kontrollierte Umgebung für eine solche präzise Abscheidung geeignet ist. Die Kammer selbst ist recht geräumig, so dass verschiedene detaillierte und komplizierte Substratbaugruppen innen platziert werden können, was ideal für eine gleichmäßige Abscheidung über viele verschiedene Arten von Oberflächen ist. Entron-Einheit verwendet vier Magnetron-Sputterpistolen und ist in der Lage, eine breite Palette von Betriebsdrücken, abhängig von den gewünschten Filmparametern. Diese Geschütze sind in der Lage, eine breite Palette von Zielmaterialien, die Titan, Aluminium, Chrom, Edelstahl und andere Metalle sein kann. Jede Pistole kann unabhängig von den anderen arbeiten, oder sie können zum gleichzeitigen Sputtern synchronisiert werden. Dies trägt zur bereits beträchtlichen Steuerung der Maschine bei und ermöglicht eine wirklich vielseitige Abscheidemöglichkeit. ULVAC Entron Werkzeug ist auch mit einer großen Reihe von Messgeräten und Sensoren ausgestattet, die Ausgasung, Druck und andere Parameter in Echtzeit messen. Diese Sensoren bieten dem Bediener große Datenmengen, die es ermöglichen, während des gesamten Abscheideprozesses präzise Anpassungen vorzunehmen, was eine größere Kontrolle über den resultierenden Film ermöglicht. Entron ist eine unglaublich effektive und präzise Sputtern Asset-Option für diejenigen, die mehr Kontrolle über Dünnfilm Ablagerung. Es ermöglicht eine größere Kontrolle über Substratbaugruppen Platzierungen, Folienparameter und läuft mit einem sehr respektablen Basisdruck. Seine vier Magnetronpistolen können unabhängig oder im Tandem arbeiten und ermöglichen eine größere Vielseitigkeit als viele andere Systeme auf dem Markt, was es zu einer logischen Wahl für eine breite Palette von industriellen Anwendungen macht.
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