Gebraucht ULVAC Entron #9255982 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
Entron
ID: 9255982
Wafergröße: 12"
System, 12".
ULVAC Entron ist eine Sputteranlage, die von ULVAC, einem weltweit führenden Hersteller von Halbleiterproduktionsanlagen, hergestellt wird. Das Entron-Sputtersystem ist ideal zum Aufbringen dünner Materialschichten auf ein Substrat, um dünne Schichten zu bilden, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Das Gerät nutzt die physikalische Dampfabscheidungstechnologie (PVD), die die Verwendung eines Plasmas beinhaltet, um das Material im Vakuum zu verdampfen und es dann auf dem Substrat kondensieren zu lassen. Dadurch ergibt sich eine atomstabile, gleichmäßige Folie mit außergewöhnlichen Eigenschaften. Die Sputtermaschine ULVAC Entron besteht aus mehreren Komponenten, die alle so konzipiert sind, dass sie zusammenarbeiten, um höchste Effizienz und Leistung zu erreichen. Hauptbestandteil des Werkzeugs ist die Sputterkammer, die die Atmosphäre evakuieren und ein Vakuum für den Abscheideprozess erzeugen soll. Darüber hinaus verfügt die Kammer über eine Lastsperre, die zur Aufrechterhaltung der Niederdruckumgebung beiträgt und zum Einführen und Entfernen des Substrats aus der Kammer dient. Die Anlage verfügt außerdem über ein Substrathaltefutter, das für die Aufrechterhaltung der Ausrichtung des Substrats beim Sputtern verantwortlich ist. Das Entron-Modell verwendet eine Dual-Magnetron-Sputterquelle, die zwei Sätze von Magnetspulen enthält, die ein intensives Magnetfeld innerhalb der Sputterkammer erzeugen. Diese Magnetfelder erzeugen eine Plasmaumgebung, die bei der Verdampfung des Materials hilft. Die Dual-Source ermöglicht es Benutzern auch, die Zerstäubungsgeschwindigkeit und die Abscheidegeschwindigkeit der Materialien auf dem Substrat zu steuern. Zusätzlich verwendet die Ausrüstung einen Einlass, um das Material einzuführen, das für das Sputtern verwendet wird. Schließlich umfasst das ULVAC Entron-System eine Steuereinheit, die für die Steuerung der Komponenten innerhalb der Einheit und die Aufrechterhaltung einer sicheren Umgebung während des Sputtervorgangs zuständig ist. Dazu gehören Merkmale wie Druckmessung, Temperaturregelung und langsame Ventile zur Steuerung der Abscheiderate. Darüber hinaus ermöglicht diese Einheit dem Benutzer, die Einstellungen für den Sputtervorgang anzupassen, was eine Präzision und Kontrolle der Abscheidung ermöglicht. Alles in allem ist Entron Sputtermaschine ein fortschrittliches Fertigungswerkzeug, das entwickelt wurde, um hochwertige dünne Materialfilme auf Substraten zu produzieren. Seine Komponenten bieten Anwendern eine präzise Kontrolle und die Fähigkeit, unglaublich gleichmäßige Schichten mit bemerkenswerten Eigenschaften zu erreichen. Das Sputterwerkzeug ULVAC Entron ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen und kann bei der Herstellung verschiedener Halbleiterbauelemente verwendet werden.
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