Gebraucht ULVAC MLX-3000N #9156850 zu verkaufen

ULVAC MLX-3000N
Hersteller
ULVAC
Modell
MLX-3000N
ID: 9156850
Sputtering system 1998 vintage.
ULVAC MLX-3000N ist eine Hochleistungs-Sputteranlage, die in der Lage ist, hochwertige dünne Folien für viele verschiedene Anwendungen herzustellen. Das System weist eine Mehrkammerkonstruktion mit einer sechseckigen Hauptkammer, einer Seitenkammer und einer Bodenkammer auf, die eine maximale Flexibilität bietet. Es bietet eine Vielzahl von Sputterquellen, wie kreisförmige und rechteckige Kathode, Dual-Magnetron-Quelle, und unausgeglichene Magnetron-Quelle. Es verwendet erweiterte Funktionen, wie erweiterte integrierte ICRF-Stromversorgung, mehrere Plasmaüberwachungsoptionen und geschlossene Prozesssteuerung. MLX-3000N ist eine vollständig programmierbare Einheit mit einstellbarer Abscheiderate, Ionenbeschussintensität und Breitensteuerung, die eine präzise Druckkontrolle und überlegene Folienqualität ermöglicht. Die Maschine umfasst auch ein optisches Emissionsspektrometer zur Echtzeit-Prozessüberwachung und -steuerung. ULVAC MLX-3000N ist in der Lage, eine Vielzahl von dünnen Filmen herzustellen, darunter Metalle, Dielektrika, Oxide und Nitride. Das Werkzeug ist so konzipiert, dass es sowohl Niederdruck- als auch Hochdruck-Sputterprozesse bewältigt und eine Vielzahl von Anwendungen ermöglicht. Es ist auch voll kompatibel mit ULVAC EXA900 Serie von PVD-Abscheidungssystemen, die eine schnelle Übertragung von Prozessen auf das Asset ermöglicht. Die integrierte Glühstation ermöglicht die Abscheidung sehr dünner metallischer Folien, während die Kühlkomponenten die Gleichmäßigkeit der Folie gewährleisten. Schließlich verwendet MLX-3000N eine Vielzahl von Softwarepaketen, mit denen Benutzer das gesamte Modell von einer einzigen Schnittstelle aus steuern können. Die Software ist voll kompatibel mit der ULVAC ICRF Stromversorgung und die Nutzung des GLASS Programms beschleunigt die Entwicklung und Inbetriebnahme komplexer Prozesse. Die Software ULVAC Sputter Process Monitor (SPM) bietet Anwendern zudem die vollständige Kontrolle über den gesamten Abscheideprozess, um die Prozesssicherheit zu maximieren. Abschließend ist ULVAC MLX-3000N eine leistungsstarke Sputterausrüstung, die ein breites Spektrum an Funktionen und Fähigkeiten bietet, um die gewünschten Anforderungen für eine Vielzahl von Anwendungen zu erfüllen. Die Mehrkammerkonstruktion des Systems, erweiterte Bordfunktionen, Programmierbarkeit und Softwarekompatibilität machen es zu einer idealen Wahl für die hochpräzise Dünnschichtabscheidung.
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