Gebraucht ULVAC MLX-3000N #9236593 zu verkaufen

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ULVAC MLX-3000N
Verkauft
Hersteller
ULVAC
Modell
MLX-3000N
ID: 9236593
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Sputtering system, 8" Etching chamber (3) SP Chambers 1999 vintage.
ULVAC MLX-3000N ist eine Sputteranlage von ULVAC, einem weltweit führenden Anbieter von Vakuumtechnologien. MLX-3000N wurde entwickelt, um dünne Filme und Beschichtungen auf einer Vielzahl von Substraten abzuscheiden, darunter Elektronik, Optoelektronik und Halbleiter. Das System nutzt Hochleistungssputtern mit hochreinen Gasen, um dünne, gleichmäßige Filme mit hervorragenden elektrischen und optischen Eigenschaften zu erzeugen. ULVAC MLX-3000N verfügt über ein leistungsstarkes Sputternetzteil für bis zu 2500W sowie ein Hochspannungs-EC-Netzteil für Ar/O2 und Ar/N2 Sputtern mit hoher Dichte. Das Gerät nutzt bis zu drei CVD/Sputterquellen und vier Ionenquellen in hybrider Konfiguration und ermöglicht die Abscheidung von Mehrkomponentenfolien mit höherer Filmdicke als konkurrierende Systeme. Das Multi-Source-Design ermöglicht zudem schnellere Prozesszeiten und höhere Prozessflexibilität. Die automatisierte Temperaturregelung, Substratstaging und In-situ-Prozessüberwachung der Maschine sorgen für wiederholbare Ergebnisse für die Großserienproduktion. MLX-3000N verfügt auch über Lastverriegelungstechnologien, um die Substratverschmutzung zu reduzieren und den Durchsatz zu erhöhen. Durch den Einsatz intelligenter, adaptiver Software ist das Tool in der Lage, sich für verschiedene Materialien und Prozessparameter zu optimieren. ULVAC- MLX-3000N können auch einfach mit anderen ULVAC-Technologien wie E-Strahl-Verdampfern und Plasma-Ionen-unterstützten Abscheidungssystemen kombiniert werden, um maßgeschneiderte Sputtersysteme zu erstellen, um Ihre genauen Anforderungen zu erfüllen. Mit seiner hervorragenden Leistung und Zuverlässigkeit ist MLX-3000N ideal für die Großserienfertigung.
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