Gebraucht ULVAC MLX-3000N #9236603 zu verkaufen
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ID: 9236603
Weinlese: 2000
Sputtering system
Si wafer
Process gases: Argon, O2, Ni, Ta, Cr, Cu
Target: Cu
O2 Chamber S3 exists
Power on only (No wafer transfer confirmed)
C6 Turbo (TMP-303LM) nonfunctional
Missing parts:
Display
Front panel
2000 vintage.
ULVAC MLX-3000N ist eine stotternde Ausrüstung, die entwickelt und durch ULVAC, einen führenden Lieferanten von fortgeschrittenen dünnen Filmabsetzungstechnologielösungen verfertigt ist. Dieses Sputtersystem ist für präzise Dünnschichtabscheidungsprozesse ausgelegt. Das Gerät ist mit mehreren Sputterquellen (bis zu 4 Targets) zur gleichzeitigen Abscheidung von Metallen, Halbleitern und Dielektrika ausgestattet. Sie weist eine geschlossene Magnetfeld-Plasmasputterkammer mit einem lochzylindrischen Target und einem rotierenden Verschluss auf, die eine Gleichmäßigkeit im Bereich gewährleistet. Dies ermöglicht die Abscheidung von dünnen Schichten auf der gesamten Substratoberfläche ohne Schatten aufgrund der wirksamen Fläche. Das Produkt verfügt über eine Mehrzonensputterkonfiguration, die eine gleichzeitige Abscheidung mehrerer Schichten auf großflächigen Substraten ermöglicht. Die hocheffiziente Spektrumscanncontrollmaschine ermöglicht die präzise und präzise Abscheidung feiner Muster. Es hat auch eine eingebaute optische Emissionsspektroskopiefunktion, die eine Echtzeitüberwachung der Prozessparameter ermöglicht. Das großvolumige Vakuumpumpwerkzeug sorgt für niederfrequente Schwingungen und gleichmäßige Massenverteilung während des Prozesses. Das Asset ist aufgrund eines automatisierten Prozesssteuerungsmodells in der Lage, Hochleistungsabscheidung mit Gleichmäßigkeit ohne Änderung an Substraten durchzuführen. MLX-3000N ist eine industrielle Sputteranlage, die die höchsten Standards für Effizienz und Gleichmäßigkeit in Beschichtungsabscheidungsprozessen erfüllt. Es ist mit einer breiten Palette von optionalen Funktionen erhältlich, einschließlich eines Chromatmetallisierers, der außergewöhnliche Qualität Metallbeschichtungen bietet. Dieses System eignet sich für PVD-Anwendungen wie Automotive, Luft- und Raumfahrt, Militär, Medizin und Konsumenten. ULVAC MLX-3000N ist eine kostengünstige und einfach zu bedienende Sputtereinheit, die sich perfekt für die hochmoderne Dünnschichtabscheidung in industriellen Anwendungen eignet. Es bietet eine zuverlässige, präzise und gleichmäßige Beschichtungslösung mit hervorragenden Ergebnissen und hoher Ausbeute.
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